多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第158页
6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 144 多功能晶圆单元使用说明书 6.6 补救错误元件 运转中， 因吸取失误或影像处理错误， 发生不能贴装的元件。 此时， 如果进行错误元件补救 设定，能够再次使用晶圆上剩余 的元件。 此处，说明从补件极限的料尽向 导转换到错误元件补救画面，以及 错误元件的补救设定。 6.6.1 料尽向导画面 备注 )错误元件补救指令以外的画面的看法，请参照 "6.4.1 元件补充向导画面 &qu…
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 143
6.5.4 关于参考补救
在吸取开始点指定画面被显示的时候，按下 BACK 按钮后，就会显示参考补救画面。如果想
要变更已指定的参考晶片时，请进行以下的操作。
1. 请选择对象的参考位置，按下 ReferenceCheck 按钮。
备注 )按下 Complete 按钮后，就会返回到吸取开始点指定画面。
2. 显示参考晶片指定画面。请变更参考位置。（参照 "6.5.2 指定参考晶片 "。）
3. 完成参考指定 （补救）后，就会返回到吸取开始点的指定画面。
01NST-1051S
ReferenceCheck Complete
01NST-0668
6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
144 多功能晶圆单元使用说明书
6.6 补救错误元件
运转中，因吸取失误或影像处理错误，发生不能贴装的元件。此时，如果进行错误元件补救
设定，能够再次使用晶圆上剩余的元件。
此处，说明从补件极限的料尽向导转换到错误元件补救画面，以及错误元件的补救设定。
6.6.1 料尽向导画面
备注 )错误元件补救指令以外的画面的看法，请参照 "6.4.1 元件补充向导画面 "。
6.6.2 显示错误元件补救画面
1. 从对象料槽上取出晶圆托架，确认晶圆的状态。
备注 )晶圆托架的取出方法，请参照 "6.4 补充晶圆 "。
a. 晶圆上还剩余元件，并且将该元件使用到生产中时，请按下错误元件补救指令。
b. 不按下错误元件补救指令，直接进入以下的步骤，则错误元件的补救不被执行。
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多功能晶圆单元使用说明书 145
2. 请安装晶圆托架，按下画面上的 OK 按钮。
3. 请放下托架挡块，轻轻地关闭正面门。
4. 按下 SUPPLY COPLT 按钮。
5. 显示错误元件补救画面。
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