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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 263 10.6.8 更换翻转单元的吸嘴过滤器 1. 请打开背面盖罩右侧面的维修保养门。 备注 )如果是没有背面右侧面维 修保养门的多功能晶圆 单元，请从 模组上卸下多功能晶圆 单 元，拆下背面盖罩。 （详细内容请参照 "9.1 卸下方法 " 和 "12.1 拆下盖罩 "。 2. 用手将翻转单元翻转到吸嘴侧，拆下吸嘴 。按…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
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10.6.7 顶起单元的 EZ 轴滚珠丝杆的加油
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 用干净的布擦去 EZ 轴滚珠丝杆的污垢。
3. 将 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
4. 用刷子将润滑油均匀地涂敷在 EZ 轴滚珠丝杆上。
5. 使用 2mm 宽度的六角扳手转动 EZ 轴滚珠丝杆，使 EZ 轴上下往复一次以上，循环润滑
油。
6. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
7. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "。）
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Daphne Eponex No.2( 出光 ) EZ 轴滚珠丝杆 0.35
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4. 使用尖头镊子等，将过滤器盒内的真空过滤器更换成新品。
5. 将吸嘴安装翻转单元上。将吸嘴插入翻转单元，按住吸嘴顺时针转动。
6. 将多功能晶圆单元返回到原来的状态。