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6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 150 多功能晶圆单元使用说明书 11.请拿住捏手，放下 托架挡块。 12.请关闭正面门。 备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。 13.请按下 SUPP LY COPLT 按钮 。 至此，完成料盘元件的补充。 01INST -0680S 01NST -0681
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 149
4. 从要补充的料槽中拔出托架。
5. 将料盘安装到料盘托架上。
6. 将料盘托架安装到料盘箱的对象料槽中。
注意 )在将料盘托架安装到料盘箱内的时候，请不要有冲击并放置到最里面。
备注 )想要改变补充料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）来变更料槽。
7. 如果需要进行吸取开始点指定时，请按下箭头键 （向右）。
备注 )关于吸取开始点指定画面上的详细操作，请参照 "7.11.3 指定吸取开始点 "。
8. 请按下画面上的 OK 按钮。
9. 如果有其他料槽的料盘安装向导，请重复 4. 项～ 8. 项。
10.完成所有的补充后，SUPPLY COPLT 按钮就会闪烁。
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6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
150 多功能晶圆单元使用说明书
11.请拿住捏手，放下托架挡块。
12.请关闭正面门。
备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。
13.请按下 SUPPLY COPLT 按钮。
至此，完成料盘元件的补充。
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