多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第316页

11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S 302 多功能晶圆单元使用说明书 4. 从控制电路板上拔出熔丝 （M11F1 ～ 9） ，更换新的熔丝。 ❨ϱ (M1 1F1, 2, 7) ൟো 㧦 DM32 ൟো 㧦 DM10 ❨ϱ (M1 1F3, 4, 5, 6, 8, 9) 01NST -0723Sb ᥻ࠊ⬉䏃ᵓ F1 ⚻ᮁ 㧦 PL1 ❘♃ F2 ⚻ᮁ 㧦 PL2 ❘♃ F8 ⚻ᮁ 㧦 PL8 ❘♃ F9 ⚻ᮁ 㧦 PL9…

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INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 301
11.4 更换控制电路板熔丝
11.4.1 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手一套
11.4.2 更换方法
1. 请接通模组的电源，安装多功能晶圆单元。
2. 拆下正面盖罩 （中央）详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。
3. 熔丝烧断后，电路板上的熔丝检查用 LED 就会熄灯。请确认哪个熔丝被烧断，然后将主
开关设置为 OFF。
注意
在更换熔丝之前，请务必切断电源。请安装与拆下的熔丝相同容量的熔
丝。
01NST-0722c
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
302 多功能晶圆单元使用说明书
4. 从控制电路板上拔出熔丝 （M11F1 ～ 9），更换新的熔丝。
❨ϱ(M11F1, 2, 7)
ൟো㧦DM32
ൟো㧦DM10
❨ϱ(M11F3, 4, 5, 6, 8, 9)
01NST-0723Sb
᥻ࠊ⬉䏃ᵓ
F1⚻ᮁ㧦PL1❘♃
F2⚻ᮁ㧦PL2❘♃
F8⚻ᮁ㧦PL8❘♃
F9⚻ᮁ㧦PL9❘♃
F1
F2
F3
F4F5
F6
F7
F8
F9
PL1
PL2
PL3
PL4
PL5
PL6
PL7
PL8
PL9
❨ϱ(M11F5)
ൟো㧦DM10（⬉䏃ᵓൟোFH1408BOF）
DM16（⬉䏃ᵓൟোFH1408COF）
⬉䏃ᵓൟো
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 303
11.5 更换托架电路板熔丝
11.5.1 必要工具
十字螺丝刀
11.5.2 更换方法
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （右侧后方）。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "
3. 请目视确认哪个熔丝被烧断。
4. 从托架电路板上拔出熔丝 （F3、F4），更换新的熔丝。
注意
在更换熔丝之前，请务必切断电源。请安装与拆下的熔丝相同容量的熔
丝。
01NST-0724c
F3
PSE UL CSA FGMA
125V 5A(PBF)
01NST-0725Sb
F4
PSE UL CSA FGMA
125V 0.5A(PBF)