多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第289页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 275 11.将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。 12.使用刷子，在 EX 轴导轨 (5) 处 均匀地涂敷润滑油。 13.手动动作 EX 轴、EY 轴、EZ 轴和 顶起驱动，使润滑油 循环。 14.用干净的布擦去溢 出的多余的润滑 油。 15.将多功能晶圆单元 安装到模组中。 （详 细内容参照 "9.2 安…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
274 多功能晶圆单元使用说明书
〈顶起单元〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）。
2. 用手将顶起单元移动到便于作业的位置。
3. 用干净的布擦去 EX 轴滚珠丝杆、驱动凸轮和各轴导轨的污垢。
4. 将 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
5. 使用刷子，在 EX 轴滚珠丝杆 (1) 处均匀地涂敷润滑油。
6. 将 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
7. 使用刷子，在驱动凸轮 (2) 处均匀地涂敷润滑油。
8. 将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
9. 使用刷子，在 EX 轴导轨 (3) 处均匀地涂敷润滑油。
10.使用相同的方法，在 EY 轴导轨 (4) 涂敷润滑油。
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) (1)EX 轴滚珠丝杆 0.35
(2) 驱动凸轮 0.35
NS7 （NSK）或 Multemp SRL
（协同油脂）
(3)EX 轴导轨 0.35
(4)EY 轴导轨 0.35
(5)EZ 轴导轨 0.35
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 275
11.将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
12.使用刷子，在 EX 轴导轨 (5) 处均匀地涂敷润滑油。
13.手动动作 EX 轴、EY 轴、EZ 轴和顶起驱动，使润滑油循环。
14.用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
15.将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
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276 多功能晶圆单元使用说明书
〈翻转单元〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 请打开背面盖罩右侧面的维修保养门。
备注 )如果是没有背面右侧面维修保养门的多功能晶圆单元，请从模组上卸下多功能晶圆单
元，拆下背面盖罩。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 " 和 "12.1 拆下盖罩 "。
2. 用干净的布擦去翻转部齿轮的污垢。
3. 将 0.35cc 的 Mobilith SHC460WT 倒在刷子上。
4. 使用刷子，在翻转部齿轮处均匀地涂敷润滑油。
5. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
6. 将多功能晶圆单元返回到原来的状态。
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Mobilith SHC460WT （Mobil） 翻转部齿轮 0.35
01NST-2015