多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第21页
INS-NXTMWU-4.2S 2. 各部分的名称和功能 多功能晶圆单元使用说明书 7 2.1.2 顶起筒 顶起筒被安装在顶起单元中， 存在小尺寸晶片用和正方形晶片用 2 种类型。 请对照所使用晶 圆的晶片尺寸进行选择。 小尺寸晶片用时可以在中心安装 1 个顶起销， 大尺寸或中尺寸晶片 用时在中心和周围安装多个顶起 销。 2.1.3 晶圆托架 多功能晶圆单元是将晶圆安装在 托架上进行供应。 根据晶圆是否带夹环， 所使用的托架不相 同。请…
2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S
6 多功能晶圆单元使用说明书
2.1.1 PP 吸嘴种类
PP 吸嘴的种类如下。请对照所使用晶圆的晶片尺寸进行选择。另外，各个吸嘴请通过凸缘
面上被涂敷的颜色进行识别。
备注 )吸嘴尺寸末尾的 [G] 表示带橡胶垫的吸嘴。
吸嘴尺寸 识别色 ID 吸嘴图号
φ1.0G 粉色 C10 AA9DW**
φ1.3G 绿 C11 AA9DX**
φ1.8G 浅蓝 C12 AA9DY**
φ2.5G 紫 C13 AA9DZ**
φ3.5G 黄绿 C14 AA9EA**
φ5.0G 红 C15 AA9EB**
φ7.0G 深红 C16 AA9EC**
φ10.0G 深蓝 C17 AA9ED**
φ0.4 黄 C18 AB306**
φ0.7 蓝 C19 AB307**
INS-NXTMWU-4.2S 2. 各部分的名称和功能
多功能晶圆单元使用说明书 7
2.1.2 顶起筒
顶起筒被安装在顶起单元中，存在小尺寸晶片用和正方形晶片用 2 种类型。请对照所使用晶
圆的晶片尺寸进行选择。小尺寸晶片用时可以在中心安装 1 个顶起销，大尺寸或中尺寸晶片
用时在中心和周围安装多个顶起销。
2.1.3 晶圆托架
多功能晶圆单元是将晶圆安装在托架上进行供应。根据晶圆是否带夹环，所使用的托架不相
同。请使用符合晶圆条件的托架。
·夹环对应托架
·手动拉伸托架 （选购件）
Ёሎᇌ⠛⫼
乊䍋ㄦ
1676D
ᇣሎᇌ⠛⫼
乊䍋ㄦ
ߌ㓬
ࠊᴚ
01NST-1466Sa
།⦃ᇍᑨᠬᶊ
ࡼᢝԌᠬᶊ
2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S
8 多功能晶圆单元使用说明书
2.2 吸嘴置放台
使用多功能晶圆单元时，需要对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台。请将符合贴装工作头的对
应多功能晶圆单元的吸嘴置放台安装在吸嘴更换器上使用。
<ND32D>
01NST-0692S
<NK12A>
<NCGWA>