多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第74页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 60 多功能晶圆单元使用说明书 8. 用手将晶片往复臂单元移动到交接位置。 9. 使用与贴装工作头相同的方法，将工作头 夹紧治具安装到模组的工作头支架 上。另外， 不 要 进 行 接 插 件 的 连 接 。 （ 详 细 内 容 请 参 照[ N X T I I系 统 手 册]的[基 本 操 作] 。 ） 01NST -2004S ⠛ᕔ㞖Ѹԡ㕂 ᕔ㞖կᑨԡ㕂 Ⳉկᑨԡ㕂 OO ҹϞ
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 59
6. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。
a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向弹簧
侧同时用手转动，拆下所有的顶起筒。
b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。
备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。
c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。
备注 )不方便安装治具时，请转动 EZ 轴滚珠丝杆，下降顶起 Z 轴部。转动 EZ 轴滚珠丝杆时，
将 2mm 宽度的六角扳手插入滚珠丝杆的前端部，请慢慢地转动，不要用力过度。
7. 将顶起单元移动到往复臂供应位置。顶起 X 轴部的位置是顶起调整治具的中心与导轨面
的距离为 30mm 以上的位置。
注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。在
顶起 X 轴部处在左右端的状态下，Y 方向移动顶起单元时，单元的一部分有可能碰到壁
面。
01NST-1966
01NST-1967S
(=䕈⒮⦴ϱᴚ
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
60 多功能晶圆单元使用说明书
8. 用手将晶片往复臂单元移动到交接位置。
9. 使用与贴装工作头相同的方法，将工作头夹紧治具安装到模组的工作头支架上。另外，
不要进行接插件的连接。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[基本操作]。）
01NST-2004S
⠛ᕔ㞖Ѹԡ㕂
ᕔ㞖կᑨԡ㕂
Ⳉկᑨԡ㕂
OOҹϞ
