多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第248页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 234 多功能晶圆单元使用说明书 4. 显示顶起销的影像处理结果。请按下上下 左右的滚动按钮，将销中心调整到 画面中心。 备注 )此时的滚动量为顶起销的位置补正量。 备注 )按下 CANCEL 按钮后，就会返回到前项的画面。 5. 请按下 NEXT 按钮。返回到 2. 项的画面，补正量被确定。 01NST -1398S CANCEL NEXT
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 233
8.5.4 顶起销位置调整
执行该指令后，元件相机就会拍摄顶起销的位置，并显示在操作面板上。由此，能够确认现
状的顶起销位置，算出修正量。
1. 请按下顶起销位置调整指令。
2. 显示筒夹选择画面。请通过箭头按钮选择进行位置调整的筒夹。
3. 请按下 START 按钮。
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8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
234 多功能晶圆单元使用说明书
4. 显示顶起销的影像处理结果。请按下上下左右的滚动按钮，将销中心调整到画面中心。
备注 )此时的滚动量为顶起销的位置补正量。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，就会返回到前项的画面。
5. 请按下 NEXT 按钮。返回到 2. 项的画面，补正量被确定。
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CANCEL NEXT
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 235
8.5.5 切割宽度设定
此处，将晶圆上的晶片与晶片之间称为切割宽度。执行该指令后，多功能晶圆单元就会测定
切割宽度。通过手动操作，能够进行晶片间的设定编辑。
在结束自动校正后，请按照以下的步骤进行操作。
显示设定画面
1. 请按下切割宽度设定指令。
备注 )如果没有完成自动校正，就会显示错误画面。请将画面返回到生产模式，执行校正。
2. 显示料槽选择画面。通过箭头按钮选择进行吸取测试的被安装了晶圆的料槽。
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