多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第147页

INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产 多功能晶圆单元使用说明书 133 6.3 关于生产中的画面 此处,说明生产中 (裸晶片供应中)所显示 的画面和画面操作。 6.3.1 画面的构成 01NST -0656S MWU MWU

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6. 生产
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NS-NXTMWU-4.2S
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6.2 开始生产
请进行以下的操作。
1. 当多功能晶圆单元处于 START 等待状态的时候,请按下 START 按钮。
2. 开始校正。校正结束后,开始向模组供应元件。
备注 )
1.如果还没有完成生产的准备,校正后显示换线向导。有关换线,请参照 "6. 换线 "。
2.校正中如果发生了顶起销读取异常时,就会显示顶起销的位置调整画面。请参照 "7.9
顶起销的位置调整 ",进行顶起销的位置调整。
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 133
6.3 关于生产中的画面
此处,说明生产中 (裸晶片供应中)所显示的画面和画面操作。
6.3.1 画面的构成
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MWU
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134 多功能晶圆单元使用说明书
6.4 补充晶圆
运转中当发生料尽时,元件补充向导就会被显示在多功能晶圆单元的画面上。请根据向导,
将元件补充到多功能晶圆单元中
6.4.1 元件补充向导画面
01NST-0644S