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INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产 多功能晶圆单元使用说明书 133 6.3 关于生产中的画面 此处,说明生产中 (裸晶片供应中)所显示 的画面和画面操作。 6.3.1 画面的构成 01NST -0656S MWU MWU

INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 133
6.3 关于生产中的画面
此处,说明生产中 (裸晶片供应中)所显示的画面和画面操作。
6.3.1 画面的构成
01NST-0656S
MWU
MWU

6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
134 多功能晶圆单元使用说明书
6.4 补充晶圆
运转中当发生料尽时,元件补充向导就会被显示在多功能晶圆单元的画面上。请根据向导,
将元件补充到多功能晶圆单元中。
6.4.1 元件补充向导画面
01NST-0644S
