多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第159页
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产 多功能晶圆单元使用说明书 145 2. 请安装晶圆托架,按下画面上的 OK 按钮。 3. 请放下托架挡块,轻轻地关闭正面门。 4. 按 下 SUPPLY COPLT 按钮。 5. 显示错误元件补救画面。 167 167 167

6. 生产
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NS-NXTMWU-4.2S
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6.6 补救错误元件
运转中,因吸取失误或影像处理错误,发生不能贴装的元件。此时,如果进行错误元件补救
设定,能够再次使用晶圆上剩余的元件。
此处,说明从补件极限的料尽向导转换到错误元件补救画面,以及错误元件的补救设定。
6.6.1 料尽向导画面
备注 )错误元件补救指令以外的画面的看法,请参照 "6.4.1 元件补充向导画面 "。
6.6.2 显示错误元件补救画面
1. 从对象料槽上取出晶圆托架,确认晶圆的状态。
备注 )晶圆托架的取出方法,请参照 "6.4 补充晶圆 "。
a. 晶圆上还剩余元件,并且将该元件使用到生产中时,请按下错误元件补救指令。
b. 不按下错误元件补救指令,直接进入以下的步骤,则错误元件的补救不被执行。
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多功能晶圆单元使用说明书 145
2. 请安装晶圆托架,按下画面上的 OK 按钮。
3. 请放下托架挡块,轻轻地关闭正面门。
4. 按下 SUPPLY COPLT 按钮。
5. 显示错误元件补救画面。
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6.6.3 错误元件补救的设定
1. 请按下错误元件补救设定按钮,进行补救设定。
2. 设定后,按下 NEXT 按钮。
备注 )补救设定后,不按下 NEXT 按钮而是取消自动运转,设定变成无效。然后返回到自动运
转的时候,因为再次显示设定画面,请重新设定。
3. 显示吸取开始点的指定画面。在指定了开始点后请重新开始生产。
备注 )关于吸取开始点的指定,请参照 "6.5.3 指定吸取开始点 "。
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