多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第259页
INS-NXTMWU-4.2S 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 多功能晶圆单元使用说明书 245 5. 将多功能晶圆单元慢慢地插入到模组内 。多功能晶圆单元被自动夹紧。 6. 请确认多功能晶圆单元的前轮是否处在步 骤 3 中调整的方向。如果方向错误，请暂时卸 下多功能晶圆单元，再次调整前轮 的方向，然后插入到模组中。 （多功能晶圆单元的卸 下方法请参照 "9.1 卸下方法 "。 警告 在将多功能晶圆单元推入机器内的…
INS-NXTMWU-4.2S 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装
多功能晶圆单元使用说明书 245
5. 将多功能晶圆单元慢慢地插入到模组内。多功能晶圆单元被自动夹紧。
6. 请确认多功能晶圆单元的前轮是否处在步骤 3 中调整的方向。如果方向错误，请暂时卸
下多功能晶圆单元，再次调整前轮的方向，然后插入到模组中。（多功能晶圆单元的卸
下方法请参照 "9.1 卸下方法 "。
警告
在将多功能晶圆单元推入机器内的时候，请确认多功能晶圆单元与基座之
间没有别的作业人员。否则，身体有可能被夹在多功能晶圆单元与基座之
间，造成伤亡。
注意
将多功能晶圆单元安装到模组中或者从模组中卸下时，请小心地进行避免
受到冲击。否则有可能损坏机器。
01NST-1902
9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 INS-NXTMWU-4.2S
246 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO: