多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第141页
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 127 故障排除 请根据状况，进行有效的对策 。 1676 㶎䋱䇭 㪲㪪㪿 㪸㫇 㪼㩷 㪛㪸㫋㪸㪴㩷㪄㩷㪲㪪㪿 㪸㫇 㪼 㩷㪧㫉㫆㪺 㪼 㫊㫊㪴㩷㪄㩷㪲㪛 㫀㪼㪴㩷㪄 㩷㪲㪧㫉㫆㪺 㪼㫊㫊㩷 㪫㫀㫄㪼 㫊㪴㩷 ⱘ乍ⳂЁˈ䇋ব䆒ᅮˈ 㗙ᇚ 㪲 㪩 㪼㪽㪅 㩷㪛㫀 㪼㩷㪚㪿㪼㪺㫂 㩷㪤 㫆㪻 㪼㪴㩷 ⱘ乍Ⳃ䆒ᅮЎ 㩷 㪲㪩 㪼㪽㪅 㩷…
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
126 多功能晶圆单元使用说明书
邻近参考晶片参照失败时
运用了邻近参考晶片参照功能的时候，如果处在以下的状态时，机器就会中断生产，并且
显示元件补充向导。
a. 邻近参考晶片的影像处理失败
b. 不参照邻近参考晶片，直接超出了
Process Times 中所设定的间隔
备注 ) 如果 Shape Data 的 [Do Stop when Over Process Times] 的项目被设定为 [No]，则
不参照参考晶片，机器继续生产。
请进行以下的操作，重新开始运转。
1. 在按下 OK 按钮之后，请打开门，完成元件补充。
2. 请按下 SUPPLY CPLT 按钮。
3. 吸取开始点指定画面被显示。请一边看着实时影像，调整到开始吸取的晶片处在中央，
按下 NEXT 按钮。
备注 )关于吸取开始点指定的操作，请参照 "6.5.3 指定吸取开始点 "。
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01NST-2085
01NST-2086
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 127
故障排除
请根据状况，进行有效的对策。
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