多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第194页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 180 多功能晶圆单元使用说明书 7.6.3 图表影像和实际影像的确认 1. 在设定了行列数后，显示吸取开始点的图表影像和实际影像。请对照图表影像和实际影像，确认晶片的位置。 2. 请按下 NEXT 按钮。备注 )按下 BACK 按钮后，返回到行列数的设定画面。按下 CANCEL 按钮后则返回到晶圆示教画面。 3. 显示晶圆右侧的图表影像和实际影像。请对照图表影像和实际影像，确认…

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多功能晶圆单元使用说明书 179

7.6.2 行列数的设定

如果要变更所安装的晶圆托架的行列数时，请进行设定。

1. 选择行数或者列数后，就会显示数字键盘。

备注 )0 的时候，自动决定行列数。

2. 在数字键盘上输入从晶圆外圈到扁平面的列数。按下 Enter 按钮后，所输入的数值就会

被确定。

3. 完成行列数的设定后，请按下 NEXT 按钮。移动到图表影像和实际影像的确认画面（吸

取开始点）。

备注 )按下 CANCEL 按钮后，就会返回到晶圆示教画面。

01NST-1065

CANCEL

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

180 多功能晶圆单元使用说明书

7.6.3 图表影像和实际影像的确认

1. 在设定了行列数后，显示吸取开始点的图表影像和实际影像。请对照图表影像和实际影

像，确认晶片的位置。

2. 请按下 NEXT 按钮。

备注 )按下 BACK 按钮后，返回到行列数的设定画面。按下 CANCEL 按钮后则返回到晶圆示教

画面。

3. 显示晶圆右侧的图表影像和实际影像。请对照图表影像和实际影像，确认晶片的位置。

4. 之后，每按一下 NEXT 按钮，则按照以下的顺序显示画面。请对照各自的图表影像和实

际影像，确认晶片的位置。

a. 晶圆上侧的图表影像和实际影像

b. 晶圆左侧的图表影像和实际影像

c. 晶圆下侧的图表影像和实际影像

备注 )完成了所有的图表影像和实际影像的确认后，图表编辑按钮就会变成有效。当图表影

像和实际影像的晶片的偏差较大的时候，请按下图表编辑按钮，显示图表编辑画面。

至此，完成图表影像和实际影像的确认。之后，当按下 NEXT 按钮，就会移动到模板图表设

定画面。（参照 "7.6.4 模板图表的设定 "。）

01NST-1037S

CANCEL

BACK

01NST-1038S

Cancel

Back

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多功能晶圆单元使用说明书 181

图表编辑

对照图表影像和实际影像，如果晶片的位置存在偏差时，请进行图表编辑。

1. 完成吸取开始点、晶圆的前后左右所有的图表影像和实际影像的确认后，图表编辑按钮

就会变成有效。请按下图表编辑按钮。

2. 显示图表编辑菜单画面。

备注 )按下 CANCEL 按钮后，则返回到图表影像和实际影像的确认画面。此处，NEXT 按钮为无

效。

3. 请选择菜单，进入各自的编辑画面。

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CANCEL NEXT