多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第112页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 98 多功能晶圆单元使用说明书 保存编辑数据 1. 请按下结束按钮。编辑数据被反映给 MEdit。 备注 )机器在结束处理之前如果错误地按下了结束按钮，请再次启动 MEdit，重复操作。 2. 从 文件菜单中选择 [Save Job]。 备注 )在没有进行该操作的情况下执行其他的测试指令或者结束 MEdit， 就会显示以下的确认 信息。如果要保存 Job，请按下 [Yes]。 …
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 97
6. 按下 NEXT 按钮。
备注 )按下 [BACK] 按钮后，就会返回到 3 项的画面。另外，按下 [CANCEL] 按钮后，则返回
到 2 项的画面。
7. 显示影像处理的结果。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
b. 往复臂供应模式时
01NST-1498
CANCEL BACK
01NST-1499
01NST-1500
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
98 多功能晶圆单元使用说明书
保存编辑数据
1. 请按下结束按钮。编辑数据被反映给 MEdit。
备注 )机器在结束处理之前如果错误地按下了结束按钮，请再次启动 MEdit，重复操作。
2. 从文件菜单中选择 [Save Job]。
备注 )在没有进行该操作的情况下执行其他的测试指令或者结束MEdit，就会显示以下的确认
信息。如果要保存 Job，请按下 [Yes]。
至此，完成影像处理测试。
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01NST-1647E
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多功能晶圆单元使用说明书 99
5.6.2 吸取测试
对于没有生产实绩的晶片，如果不调整以下的设定，有可能无法吸取。
·顶起销的顶起高度
·顶起速度
·晶片吸取时的下降端时间
因此，请进行吸取测试，确认实际的吸取状态。
启动测试模式
1. 请启动 MEdit。
2. 打开机器内的 Job。
a. 从文件菜单中选择 [Open Current Job]。
b. 从生产线列表中选择对象模组。必要时也请选择通道。
c. 点击 [OK]。显示 Job 数据。
3. 请确认机器的操作面板显示了开始等待画面。
4. 从 [MWU Test] 中，执行 [MWU Pickup Check]。
备注 )如果显示错误向导，机器处在不能执行测试的状态。请显示错误内容，解决问题。
5. 显示多功能晶圆单元的操作向导。
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