多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第201页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 187 7.6.4 模板图表的设定 1. 在确认了行列数和图表影像后，显示模板 图表的设定菜单画面。请按下菜单 选择设定方 法。 a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定 跳过晶片区域。 b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围 ，指定跳过晶片。 c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片 ，指定跳过晶片。 备注 )按下 BACK 按钮后，返回到晶圆下侧的图表影像…
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4. 确定指定时，请按下 Complete 按钮。晶片影像的颜色如下变化，并且返回到图表编辑
菜单画面。
·晶片影像的灰色变成白色。（变成了无效。）
·晶片影像的淡绿色变成绿色。（变成了有效。）
5. 请按下 Complete 按钮。返回到轴移动位置中的指定画面。
6. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。
01NST-1728
Complete
01NST-1729
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多功能晶圆单元使用说明书 187
7.6.4 模板图表的设定
1. 在确认了行列数和图表影像后，显示模板图表的设定菜单画面。请按下菜单选择设定方
法。
a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定跳过晶片区域。
b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围，指定跳过晶片。
c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片，指定跳过晶片。
备注 )按下 BACK 按钮后，返回到晶圆下侧的图表影像和实际影像的确认画面。
2. 指定了跳过晶片后，返回到上一个画面。请按下 Complete 按钮。设定完成后，返回到
晶圆示教画面。
备注 )没有按下保存按钮，而是按下 BACK 按钮后，跳过晶片的指定就会变成无效，请注意。
根据外圈指定的模板图表设定
1. 按下画面左下方的按钮后，就会显示数字键盘。在数字键盘上输入从晶圆外圈开始的列
数。
01NST-1039S
BACK
01NST-1040
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2. 输入了列数后，按下数字键盘的 Enter 键后，所输入的数值就会被决定。
3. 请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，所设定的数值不会被反映，画面返回到模板图表设定的菜单。
根据范围指定的模板图表设定
1. 点击图表影像后，就会显示图表影像。使用图表的放大按钮、滚动按钮，移动到想要指
定的区域。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，画面就会返回到模板图表设定的菜单。
CANCEL
Complete
01NST-1020S
CANCEL