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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 282 多功能晶圆单元使用说明书 〈顶起单元〉 1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。 （详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。 ） 2. 将顶起单元移动到便于作业的位置。 3. 请测定皮带张力。确认皮带的中央位置的 测定值是否在规定值内。 4. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力 。松开各轴的固定螺栓和锁定螺母 ，然后转动 调整螺栓进行调整。 5. 请旋紧张力滑轮的固…
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多功能晶圆单元使用说明书 281
〈晶片往复臂〉
1. 拆下多功能晶圆单元右侧的侧面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。
3. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。拆下多功能晶圆单元的正面盖罩 （中央
部）。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
4. 松开马达支架的固定螺栓和锁定螺母，然后转动调整螺栓进行调整。
5. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
6. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
7. 安装右侧盖罩。
皮带张力 规定值 (Hz)
SY 轴 （ 265.3 ～ 277.3
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多功能晶圆单元使用说明书 283
7. 将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
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