多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第123页
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 109 a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮 廓。 b. 按 下 NEXT 按 钮。 备注 )如果离开第 1 点的距离超过 1.0 mm，不能够按下 NEXT 按钮。按下 CANCEL 按钮后，就 会返回到 1. 项的画面。 6. 以毫米单位显示测定值。请确认。 a. 之 后，如果要进行微调 整，请按下 X Cut Width/Y C…
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
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3. 请按下 START 按钮。
4. 指定第 1 点的测定位置。
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
5. 请指定第 2 点的测定位置。
NEXT
NEXTBACKCANCEL
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 109
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
备注 )如果离开第 1 点的距离超过 1.0 mm，不能够按下 NEXT 按钮。按下 CANCEL 按钮后，就
会返回到 1. 项的画面。
6. 以毫米单位显示测定值。请确认。
a. 之后，如果要进行微调整，请按下 X Cut Width/Y Cut Width 按钮。
b. 确定测定值时，请按下 COMPLETE 按钮。数据被更新，并返回到 2. 项的画面。
7. 按下 X Cut Width 按钮或 Y Cut Width 按钮后，就会显示数字键盘。请在数字键盘上输
入宽度，按下 Enter 按钮。
备注 )所输入的数值如果是无效，在数字键盘输入栏内显示 [0]。
COMPLETECANCEL
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8. 请确认 X Cut Width 或 Y Cut Width 的数值是否被更新了。
9. 请按下 COMPLETE 按钮。数据被更新，并返回到 2. 项的画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，所变更的数据就会被取消。
保存编辑数据
1. 请按下结束按钮。编辑数据被反映给 MEdit。
备注 )在按下多功能晶圆单元的 COMPLETE 按钮之前如果错误地按下了结束按钮，请再次启动
MEdit，重复操作。
COMPLETECANCEL
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