多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第61页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 47 进行多功能晶圆单元的高度和倾斜调整 1. 取得塔基座部的 Y 方向的水平。 备注 )以下虽然是按照左侧、右侧的顺序的作业，但是，可以从左右的任意一处开始调整。 a. 将顶起 X 轴部移动到直接供应位置左侧。左右方向的测定位置 是顶起调整治具的中 心与导轨面的距离为 27mm ～ 30mm 的位置。 注意 )Y 方向移动顶起单元时， 首先将顶起 X 轴部移动到中央…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
46 多功能晶圆单元使用说明书
3. 在多功能晶圆单元的塔基座部的左右各设置 Y 方向的水平仪。
01NST-1975
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 47
进行多功能晶圆单元的高度和倾斜调整
1. 取得塔基座部的 Y 方向的水平。
备注 )以下虽然是按照左侧、右侧的顺序的作业，但是，可以从左右的任意一处开始调整。
a. 将顶起 X 轴部移动到直接供应位置左侧。左右方向的测定位置是顶起调整治具的中
心与导轨面的距离为 27mm ～ 30mm 的位置。
注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。另
外，移动顶起单元时，请不要接触顶起 Z 轴部。
b. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住顶起调整治具的上面。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
c. 一边看着左侧的水平仪，一边转动左侧的前侧脚轮和中间脚轮的调整螺栓，将 Y 方
向的水平调整到以下的公差范围内。此时，千分表的数值请参考以下的公差值。
·Y 方向的水平仪的公差值必须在 ±0.1mm/m 以内。
·千分表的数值必须在 Z0Z0 高度的 ±0.2mm 以内。
d. 对于右侧，也使用同样的方法取得水平。并且，确认 4 个脚轮全部着地。
e. 再次确认左侧的水平仪和千分表的数值。反复这些调整，使得左右的水平仪的数值
在公差值内。
01NST-1969S
ᕔ㞖կᑨԡ㕂েջ
ᕔ㞖կᑨԡ㕂Ꮊջ
Ⳉկᑨԡ㕂েջ
Ⳉկᑨԡ㕂Ꮊջ
OO̚OO
01NST-1976
X
Y
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
48 多功能晶圆单元使用说明书
2. 取得托架往复臂部的水平。调整到往复臂供应位置的右侧和左侧、直接供应位置的右侧
和左侧的晶圆供应部 4 点的高度测定值在以下的公差值内。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到
中央，然后 Y 方向移动顶起单元。另外，移动顶起单元时，请不要接触顶起 Z 轴部。
·直接供应位置的左右测定值之差必须在 0.3mm 以内。
·相对于直接供应位置的左右测定值的中间值，往复臂供应位置的左右测定值必须
在 ±0.05mm 以内。
a. 在晶圆供应部 4 点，测定顶起调整治具的高度。将顶起 X 轴部和千分表移动到各自
的位置上，记录测定值。
b. 算出直接供应位置的左右测定值之差和中间值。
备注 )此时，直接供应位置的左右测定值之差超出 0.4mm 时，请将多功能晶圆单元拉出一半，
再次进行夹紧。详细内容请参照步骤 5。0.4mm 以下时，请继续调整至步骤 e。还是没
有在公差值以内时，请将多功能晶圆单元拉出一半，再次进行夹紧。
c. 将顶起单元和千分表移动到往复臂供应位置。
㩿㪜㪂㪇㪅㪇㪌㪀㩷㫄㫄
㩿㪜㪄㪇㪅㪇㪌㪀㩷㫄㫄
䇗ᭈࠄᕔ㞖կᑨԡ㕂Ꮊে㞾
ⱘ⌟ᅮؐ˄& '˅䆹㣗ೈݙDŽ
01NST-1977S
Ꮊে⌟ᅮؐПᏂ
#$OOҹݙ
ᕔ㞖կᑨԡ㕂
Ⳉկᑨԡ㕂⌟ᅮؐ
Ꮊে⌟ᅮؐⱘЁ䯈ؐ
#$'
#Ⳉկᑨԡ㕂েջ⌟ᅮؐ
$Ⳉկᑨԡ㕂Ꮊջ⌟ᅮؐ
%ᕔ㞖կᑨԡ㕂েջ⌟ᅮؐ
&ᕔ㞖կᑨԡ㕂Ꮊջ⌟ᅮؐ
'Ⳉկᑨԡ㕂ⱘЁ䯈ؐ
01NST-1969S
ᕔ㞖կᑨԡ㕂েջ
ᕔ㞖կᑨԡ㕂Ꮊջ
Ⳉկᑨԡ㕂েջ
Ⳉկᑨԡ㕂Ꮊջ
OO̚OO