多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第80页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 66 多功能晶圆单元使用说明书 l. 固定顶起 X 轴部和顶起 Z 轴部，将顶起单元移动 到直接供应位置。 （参照步骤 4.） 6. 使用与步骤 5 相同的方法，在 [Measuremen t POS] 中输入 [2] ～ [5]，设定从顶起 2 到 5 位置的吸取高度修正的测定值。在顶起 5 的位置的测定 （步骤 g）后，请进 入以下的 步骤。 7. 确认晶片往复臂单元处在交接位置。 8. …
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 65
5. 开始顶起 1 位置的吸取高度修正测定。
a. 点击 [Measurement POS.] 的箭头按钮，选择 [1]。
b. 点击 [Measurement POS.move] 指令，顶起 X 轴、Z 轴部移动到顶起位置 1。
备注 )如果此时按下了紧急停止按钮，请解除紧急停止按钮，进行以下步骤 j ～ l 的作业。
c. 按下模组的紧急停止按钮，打开侧面盖罩。
d. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住顶起调整治具的上面。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
e. 确认 EZ 轴的 [Cur.val(mm)] 是否变成了 [29.0]。
备注 )如果 EZ 轴 [Cur.val(mm)] 不是 [29.0]，请重新从 [Measurement pos.move] 指令开始
进行。
f. 读取千分表的数值。
备注 )顶起调整治具高度大于 Z0 （刻度 0）时为正值，小于 Z0 时为负值。
g. 将千分表的读取值输入到 [Pusher1] 的 [Value(mm)] 中，点击 [Setting] 指令。数
值被反映到 [Now value(mm)] 中。
h. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表移动到退避位置。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
i. 关闭侧面盖罩，解除紧急停止按钮。
j. 在 [Equipment Check] 的 I/O 监视器中将安全继电器设置为 ON。（参照步骤 2.）
k. 点击 [Error reset] 指令。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
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a. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住晶片往复臂 6 位置的吸嘴上面。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
b. 读取千分表的数值。
备注 )晶片往复臂吸嘴高度大于 Z0 （刻度 0）时为正值，小于 Z0 时为负值。
c. 将千分表的读取值输入到 [Die shuttle 6] 的 [Value(mm)] 中，点击 [Setting] 指
令。数值被反映到 [Now value(mm)] 中。
10.使用与步骤 9 相同的方法，进行晶片往复臂 7 的位置的吸取高度修正测定。
11.输入了所有的测定值后，点击 [MENU] 按钮。切换到 MENU 画面。
12.点击 [Exit] 按钮。MWU 调整工具关闭。
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