多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第56页

4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 42 多功能晶圆单元使用说明书 4. 松开多功能晶圆单元下部的中间脚轮（2 处）的固定螺栓和固定螺母。 5. 使用 5mm 宽度六角扳手（标准、短型），松开多功能晶圆单元下部的后侧脚轮（2 处）的固定螺栓。备注 )从多功能晶圆单元与模组及基座的间隙，或者基座与地面的间隙将手伸入进行作业。 6. 一边确认被设置在托架往复臂内的水平仪，一边调整 XY 方向的倾斜。调整到水平仪的气…

INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装

多功能晶圆单元使用说明书 41

将多功能晶圆单元夹紧到模组上。

1. 请将多功能晶圆单元配置在模组的前面。

备注 )如果 NXT-2 接通了电源，请将基座的主电源开关设置为 OFF。

2. 转动高度调整手柄，调整多功能晶圆单元的高度。这时，使多功能晶圆单元的左右滚轮

接触到 NXT-2 料站基座槽的斜面顶上附近，进行高度调整。

3. 请插入多功能晶圆单元，直到多功能晶圆单元的料站托架部的端面与模组端面在同一位

置。

注意

将多功能晶圆单元安装到模组中或者从模组中卸下时，请小心地进行避免

受到冲击。否则有可能损坏机器。

警告

在将多功能晶圆单元推入机器内的时候，请确认多功能晶圆单元与基座之

间没有别的作业人员。否则，身体有可能被夹在多功能晶圆单元与基座之

间，造成伤亡。

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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S

42 多功能晶圆单元使用说明书

4. 松开多功能晶圆单元下部的中间脚轮（2 处）的固定螺栓和固定螺母。

5. 使用 5mm 宽度六角扳手（标准、短型），松开多功能晶圆单元下部的后侧脚轮（2 处）

的固定螺栓。

备注 )从多功能晶圆单元与模组及基座的间隙，或者基座与地面的间隙将手伸入进行作业。

6. 一边确认被设置在托架往复臂内的水平仪，一边调整 XY 方向的倾斜。调整到水平仪的

气泡处在公差范围内。

·X 方向上，使用前侧脚轮（2 处）和中间脚轮（2 处）的调整螺栓，调整倾斜。

备注 )X 方向调整时，左或右的前侧脚轮和中间脚轮的变更量基本上相同，这样容易得到水

平。

·Y 方向上，使用高度调整手柄、前侧脚轮（2 处）和中间脚轮（2 处）的调整螺

栓，调整倾斜。

备注 )高度调整手柄在大幅度变更 Y 方向的倾斜时使用，脚轮在进行 Y 方向微调整时使用。Y

方向微调整时，2 个前侧脚轮和 2 个中间脚轮的变更量基本上相同，这样容易得到水平。

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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装

多功能晶圆单元使用说明书 43

7. 将基座的主电源开关设置为 ON，接通模组的电源。

8. 慢慢地将多功能晶圆单元插入模组内。

9. 如果模组、多功能晶圆单元的紧急停止按钮被按下了，请解除。然后按下模组操作面板

的 [POWER] 按钮。

备注 )虽然显示 [Safety Door] 的错误，请继续作业。

10.按下模组操作面板的 [READY ON] 按钮。多功能晶圆单元被夹紧。

11.请确认连接多功能晶圆单元与料站基座的接插件被完全连接。

12.确认多功能晶圆单元的前轮方向如下图所示，面向正面的状态。如果与下图的状态不

同，请将多功能晶圆单元退回到步骤 3 的位置，调整脚轮的方向重新插入。

注意 )多功能晶圆单元的滚轮部从料站基座上退回后，请进行再次调整。

POWER

READY ON

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EMERGENCY

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