多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第267页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 253 10.3 每天 （24 小时以内）的作业 10.3.1 清扫多功能晶圆单元用废料带箱 （每 8 个小时） 1. 将废料带箱拉到跟前然后拆下。 2. 用剪刀剪下从料带供料器处垂下的表面薄 膜。 3. 请除去积存在废料带箱内的废料带。 4. 将废料带箱返回到基座内。 10.3.2 清扫元件排出箱 （每 24 个小时） 元件排出箱 （托架往复臂旁边） 1. 请…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
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*3：每吸取 150,000 次，或者吸取异常时
*4：操作面板的显示灯 （绿色）熄灯，或者显示灯 （橙色）亮灯时时
*5：升降部的动作过重等异常时
塔部 TZ轴滚珠丝杆 ------★-10
TZ轴皮带张力 ------■-10
升降部 齿轮 -------★
*5
10
防静电装置放电针 - ● - - - ▲ - ●
*4
10
维修保养项目
（●：清扫，★：加油，■：点检，▲：更换）
每周
(160H)
每2周
(320H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
每12,000
小时
不定期
作业时间
(分）
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 253
10.3 每天 （24 小时以内）的作业
10.3.1 清扫多功能晶圆单元用废料带箱 （每 8 个小时）
1. 将废料带箱拉到跟前然后拆下。
2. 用剪刀剪下从料带供料器处垂下的表面薄膜。
3. 请除去积存在废料带箱内的废料带。
4. 将废料带箱返回到基座内。
10.3.2 清扫元件排出箱 （每 24 个小时）
元件排出箱 （托架往复臂旁边）
1. 请打开模组侧面盖罩。
2. 向上拉出元件排出箱。
01NST-0706c
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3. 请除去积存在元件排出箱内的元件。
注意 )将元件排出箱完全插入台座中。如果元件排出箱没有完全插入台座中，运转时有可能
与工作头发生冲突。
晶片往复臂用元件排出箱
1. 打开正面门。
2. 打开右侧面的维修保养门。
3. 向上拉出元件排出箱。
4. 请除去积存在元件排出箱内的元件。
注意 )将元件排出箱完全插入台座中。如果元件排出箱没有完全插入台座中，运转时有可能
与工作头发生冲突。
01NST-1322a