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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 36 多功能晶圆单元使用说明书 4.4.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项 作业中，存在使用 NXT-2 的 XY 机械手的作业。此时， 请注意以下的事项。 警告 模组运转后，请不要马上直接接 触模组的线性马达轴和线圈。有可 能烫 伤。 模组的线性马达会发生强磁场。 使用心脏起搏器的人员，请不要靠 近的 Y 轴的线性马达附近 （请离开 400 mm 以上） 。受磁场影响有可能造成…
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 35
治具 顶起调整治具 2ADLWJ00120* 1 附属品
工作头夹紧治具 AA18T** 1 附属品
Z0 高度治具 PM2047* 1 选购件
也可以使用 PM3629* 的 Z0
高度治具。使用时，将千
分表靠住最高的部分。
测定器 水平仪 2 推荐分辨率：0.1mm/m
纵横尺寸：
100x40mm 以下
千分表 1 分辨率 2um
测定范围 0.6mm
磁性平台 1
01NST-1907
01NST-1908
01NST-1909
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
36 多功能晶圆单元使用说明书
4.4.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项
作业中，存在使用 NXT-2 的 XY 机械手的作业。此时，请注意以下的事项。
警告
模组运转后，请不要马上直接接触模组的线性马达轴和线圈。有可能烫
伤。
模组的线性马达会发生强磁场。使用心脏起搏器的人员，请不要靠近的 Y
轴的线性马达附近 （请离开 400 mm 以上）。受磁场影响有可能造成心脏起
搏器误动作。
注意
手动移动 XY 机械手时，请握住框架部。请握住贴装工作头本体或手柄等，
不要对工作头施加力。
请不要压住 X 轴盖罩。盖罩有可能变形。
在模组的线性马达附近 （55 mm 以内）进行作业时，请不要使用通常的工
具。请使用非磁性工具。
请不要使磁卡、手表、精密仪器等靠近模组的线性马达附近 （55 mm 以
内）。有可能受磁场影响出现故障。
更换工作头和维修保养作业时，物品不要撞击线性标尺，使其损伤。如果
线性标尺损伤，就会发生错误，有可能不能生产。此时，需要更换线性标
尺。
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 37
4.4.3 调整方法
进行 NXT-2 机器的准备
1. 使用手动指令卸下贴装工作头。（详细内容请参照 [NXT II 系统手册]的[手动模式指
令]。）
2. 卸下贴装工作头，在插入模组之前请拆下作业侧的模组侧面盖罩。（详细内容请参照
[NXT II系统手册]的[部件的更换]。）
3. 插入模组，将基座的主电源开关设置为 OFF。
4. 使用与贴装工作头相同的方法，将工作头夹紧治具安装到模组的工作头支架上。另外，
不要进行接插件的连接。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[基本操作]。）
5. 打开模组的正面盖罩。
6. 松开螺栓，拆下模组前侧下方的盖罩。
7. 拆下多功能晶圆单元用废料带滑槽。