多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第47页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 33 13.安装多功能晶圆单 元用的废料带滑 槽。 14.将多功能晶圆单元用的废料带 箱座放入基座内，安装废料带箱。 备注 )废料带箱部安装了传感器 。如果废料带箱 座没有完全安装在基座内 ，废料带处理单 元 就不会动作。 15.安装模组前侧下方 的盖罩。
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
32 多功能晶圆单元使用说明书
9. 将对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台安装在吸嘴更换器本体上。（关于安装方法的详细
内容请参照 [NXT II 机械手册 ]。）
10.拆下废料带箱下面的盖罩。
11.松开螺栓，拆下模组前侧下方的盖罩。
12.进行多功能晶圆单元的高度和倾斜的调整时，请在以下的作业之前进行。详细内容请参
照 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 "。
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 33
13.安装多功能晶圆单元用的废料带滑槽。
14.将多功能晶圆单元用的废料带箱座放入基座内，安装废料带箱。
备注 )废料带箱部安装了传感器。如果废料带箱座没有完全安装在基座内，废料带处理单元
就不会动作。
15.安装模组前侧下方的盖罩。
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜
此作业请在以下的情况下进行。另外，在进行了高度和倾斜的调整后，请务必进行吸取高度
修正测定。（详细内容请参照 "4.5 吸取高度修正测定 "。）
备注 )在模组、地面的状态等与调整时同样的条件下使用时，不需要调整。
·新安装多功能晶圆单元时
·将多功能晶圆单元安装到别的模组上时
·因生产线的移动等，地面的状态发生变化时
·多功能晶圆单元的高度发生了变化时
4.4.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经准备好了。
备注 )Z0 高度治具为选购件。是否购买，请与本公司或本公司代理店联络。
分类 名称 数量 备注
一般工具 六角扳手一套 -
扳手一套 -
十字螺丝刀 1
测隙规 （厚薄规） 1 厚度 0.5mm
特殊工具 扳手 2MDLWJ0129** 1 附属品
36mm 宽度扳手 （固定用）
前端厚度 9mm
扳手 S3019F 1 附属品
36mm 宽度扳手 （调整用）
前端厚度 14.5mm
六角扳手 （短型） 1 附属品
5mm 宽度
治具 高度调整用手柄 1 附属品
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01NST-1904
01NST-1906