多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第198页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 184 多功能晶圆单元使用说明书轴移动位置处的指定从图表编辑菜单画面上选择轴移动位置处的指定菜单后，就会显示指定画面。此处，使相机移动到图表影像中指定的位置，确认图表影像和实际影像。下一步，指定晶片的有效、无效。备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。 1. 点击图表影像的显示区域后，就会显示图表影像。使用放大、滚动按钮移…

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 183

有效晶片范围的调整

从图表编辑菜单画面上选择有效晶片范围的调整菜单后，就会显示调整画面。

备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。

1. 请数次按下加号按钮或减号按钮，变更有效晶片的范围。当绿色的表示器变成最大的时

候，有效晶片变化了一个范围。

2. 完成有效晶片的范围调整后，请按下 Complete 按钮。移动到图表编辑菜单画面。

01NST-1355

CANCEL Complete

01NST-1356S

: :

01NST-1725

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

184 多功能晶圆单元使用说明书

轴移动位置处的指定

从图表编辑菜单画面上选择轴移动位置处的指定菜单后，就会显示指定画面。

此处，使相机移动到图表影像中指定的位置，确认图表影像和实际影像。下一步，指定晶片

的有效、无效。

备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。

1. 点击图表影像的显示区域后，就会显示图表影像。使用放大、滚动按钮移动图表，点击

想要确认的晶片。

备注 )由此，移动目标处的晶片位置被指定。

2. 指定了晶片位置后，NEXT 按钮就会闪烁，请按下按钮。

01NST-1357

CANCEL NEXT Complete

01NST-1358S

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 185

3. PP 单元的相机移动到指定位置，显示实际影像。在该画面上指定晶片的有效和无效。指

定方法存在个别指定和范围指定。

a. 个别指定时

·绿色的晶片影像为有效。变成无效时，请点击对象晶片。影像变成灰色。

·白色的的晶片影像为无效。变成有效时，请点击对象晶片。影像变成淡绿色。

·确定前，再次点击晶片就会返回到原来的状态。

备注 )如果要进行范围指定，请按下范围指定 / 个别指定切换按钮。

b. 范围指定时

·请指定对象范围的对角上的 2 个晶片。

·绿色的晶片影像为有效。变成无效时，请点击对象晶片。影像变成灰色。

·白色的的晶片影像为无效。变成有效时，请点击对象晶片。影像变成淡绿色。

备注 )如果要进行个别指定，请按下范围指定 / 个别指定切换按钮。

01NST-1359S

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01NST-1360S

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