多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第54页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 40 多功能晶圆单元使用说明书 7. 在多功能晶圆单元上安装高度调整手柄。 01NST -1910S ᅮ㶎↡ 䇗ᭈ㶎ᷧ ㋻⦃ 䫕ᅮᴚ 䇗ᭈ⫼ᡇ ᅮ⫼ᡇ
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 39
3. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。
a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向弹簧
侧同时用手转动，拆下所有的顶起筒。
b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。
备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。
c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。
备注 )不方便安装治具时，请转动 EZ 轴滚珠丝杆，下降顶起 Z 轴部。转动 EZ 轴滚珠丝杆时，
将 2mm 宽度的六角扳手插入滚珠丝杆的前端部，请慢慢地转动，不要用力过度。
4. 解除多功能晶圆单元下部前侧的锁定杆 （2 处）。左方向转动控制杆，解除锁定。
5. 松开多功能晶圆单元下部的前侧脚轮 （2 处）的固定螺母。使用 36mm 宽度扳手松开固
定螺母。
备注 )转动调整螺栓时，使用前端部厚度 14.5mm 的调整用扳手 （S3019F），转动锁定螺母
时，使用前端部厚度 9mm 的固定用扳手 （2MDLWJ0129**）。
6. 松开多功能晶圆单元下部中央的紧固环 （2 处）。松开 2 个固定螺栓。
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01NST-1967S
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
40 多功能晶圆单元使用说明书
7. 在多功能晶圆单元上安装高度调整手柄。
01NST-1910S
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 41
将多功能晶圆单元夹紧到模组上。
1. 请将多功能晶圆单元配置在模组的前面。
备注 )如果 NXT-2 接通了电源，请将基座的主电源开关设置为 OFF。
2. 转动高度调整手柄，调整多功能晶圆单元的高度。这时，使多功能晶圆单元的左右滚轮
接触到 NXT-2 料站基座槽的斜面顶上附近，进行高度调整。
3. 请插入多功能晶圆单元，直到多功能晶圆单元的料站托架部的端面与模组端面在同一位
置。
注意
将多功能晶圆单元安装到模组中或者从模组中卸下时，请小心地进行避免
受到冲击。否则有可能损坏机器。
警告
在将多功能晶圆单元推入机器内的时候，请确认多功能晶圆单元与基座之
间没有别的作业人员。否则，身体有可能被夹在多功能晶圆单元与基座之
间，造成伤亡。
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