多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第212页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 198 多功能晶圆单元使用说明书 7.8.2 错误元件补救的设定 1. 请按下错误元件补救设定按钮，进行补救 设定。 2. 设定后，按下 NEXT 按钮。 备注 )媬补救设定后， 不按下 NEXT 按钮而是发生紧急停止因素时， 设定变成无效， 显示料槽 选择画面。 3. 设定被反映，显示料槽选择画面。 ᇚপࠡথ⫳ᕅڣ໘⧚䫭䇃ⱘ᠔᳝ܗӊЎ㸹ᬥᇍ䈵DŽ ᇚথ⫳প䫭䇃ⱘ᠔᳝ܗӊЎ㸹ᬥᇍ䈵DŽ ᣝ…
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 197
4. 显示错误元件补救画面。
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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
198 多功能晶圆单元使用说明书
7.8.2 错误元件补救的设定
1. 请按下错误元件补救设定按钮，进行补救设定。
2. 设定后，按下 NEXT 按钮。
备注 )媬补救设定后，不按下 NEXT 按钮而是发生紧急停止因素时，设定变成无效，显示料槽
选择画面。
3. 设定被反映，显示料槽选择画面。
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01NST-1991S
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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 199
7.9 顶起销的位置调整
多功能晶圆单元在校正中读取顶起销的位置。此时，当发生读取异常时，就会显示顶起销的
位置调整画面。请按照此处的说明，进行销的位置调整。
备注 )顶起销的位置调整作业没有包含在换线指令菜单内。
7.9.1 顶起销位置调整画面
如果所安装的销不是生产中要使用的销，请不要进行位置调整，直接按下 CANCEL 按钮。完
成校正后，显示顶起销的更换向导。
7.9.2 进行顶起销的位置调整
1. 按下上下左右的滚动按钮，十字线就会移动。请一边看着实际影像，一边将十字线移动
到筒夹中央。
2. 请按下 NEXT 按钮。
3. 画面切换到其他的筒夹后，请重复 1. 和 2. 项的作业。
通过以上的操作，完成了顶起销位置调整。多功能晶圆单元重新开始校正。
01NST-1067S
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