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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 26 多功能晶圆单元使用说明书 01NST -1451a a b c d e f g h
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
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4. 安装
在新安装或移动安装多功能晶圆单元时，请进行以下的安装作业。
4.1 拆下固定支架
请拆下安装在多功能晶圆单元的固定支架 （红色）。
备注 )移动安装多功能晶圆单元时，请参照以下，安装固定支架。
a. 固定多功能晶圆单元本体的支架。
b. 固定 PP 单元的 X 轴的支架。
c. 固定 PP 吸嘴更换器的支架。
d. 固定晶片往复臂的支架。
e. 固定托架往复臂的支架。
f. 固定顶起单元的支架。
g. 固定翻转单元的支架。
h. 保护托架往复前端的支架 （2 个）。
请保管好拆下的支架和螺栓。重新移动设备时使用。
1. 拆下多功能晶圆单元的固定支架
2. 安装主电源开关 ON/OFF 单元
3. 变更到对应多功能晶圆单元的模组
4. 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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4.2 安装主电源开关 ON/OFF 单元
在 2M-2 基座上安装多功能晶圆单元后，就变得不能够操作主电源开关。请安装附属的主电
源开关 ON/OFF 单元。
注意 )根据所安装的主电源开关 ON/OFF 单元，基座的 PCU 和 MCU 用定位孔被占据了。因此，
在更换料站托架或者切换模组时，需要每次拆下主电源开关 ON/OFF 单元。
1. 将基座的主电源开关设置为 OFF，接着，将电源电缆与外部电源分离。（参照 [NXT II
安装手册 ]。）
2. 请拆下基座的主电源开关下侧的盖罩。
危险
作业前，请确认外部电源被切断，电源电缆中没有电流流动。