多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第105页
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 91 5.5 机器构成数据 这里,进行模组的平台类型、多 功能晶圆单元的顶起销、PP 吸嘴和往复 臂衬垫等的设定。 1. 请选择 Job 信息栏的 [Top] 或 [Bottom] 标签页,双击 生产名、机器名和 [Configuration]。 打开 [Mach ine Configuration] 窗口。 2. 选 择 [Machine Con f…

5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
90 多功能晶圆单元使用说明书
5. 请设定以下的项目。
项目名 值 说明
{Generic]
Mark Type Ref.Die 设定定位点种类
Pattern for Ref.
Die Mark
(从选择项目中选
择)
设定要使用的定位点的形状
Diameter for Ref.
Die Mark
(手工输入) 设定定位点的直径
Isolation for Ref.
Die Mark
(手工输入) 在定位点的周边设定必要的不干涉区域的
尺寸
Color for Ref. Die
Mark
(White/Black) 设定定位点的颜色
Read Level for
Ref. Die Mark
(手工输入) 设定作为定位点的明暗判断的基准的 CCD
等级
Scan Area X for
Ref. Die Mark
(手工输入) 对于使用标准条件无法读取的定位点,指
定影像处理区域的 X 方向的范围
Scan Area Y for
Ref. Die Mark
(手工输入) 对于使用标准条件无法读取的定位点,指
定影像处理区域的 Y 方向的范围
Shutter Speed for
Ref. Die Mark
(手工输入) 指定定位点读取时的快门速度 (msec)
Lighting Color for
Ref. Die Mark
(Red/Blue) 指定定位点读取时的影像处理用光源的颜
色
Lighting Pattern
for Ref. Die Mark
(从选择项目中选
择)
指定定位相机的光源类型 (俯射、侧射和
中间的组合)
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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 91
5.5 机器构成数据
这里,进行模组的平台类型、多功能晶圆单元的顶起销、PP 吸嘴和往复臂衬垫等的设定。
1. 请选择 Job 信息栏的 [Top] 或 [Bottom] 标签页,双击生产名、机器名和
[Configuration]。打开 [Machine Configuration] 窗口。
2. 选择 [Machine Configuration] 窗口下方的 [Module] 标签页。
3. 点击想要搭载多功能晶圆单元的模组的按钮。
4. 接着,按照向导方式设定模组的各单元。
a. 在 [Module Type] 中选择 [M6-2SP]。
b. 在 [Stage Type] 中选择平台类型 ([MWU8i])。
01NST-0787E
01NST-0785

5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
92 多功能晶圆单元使用说明书
c. 在 [Head Type] 中选择要使用的贴装工作头。
d. 在 [Nozzle Changer Type] 中选择要使用的吸嘴置放台。
e. 选择 [Machine Configuration] 窗口下方的 [General] 标签页。
f. 选择 [Machine Configuration] 窗口下方的 [Feeder Setup] 标签页。
显示晶圆供应单元的信息窗口。
5. 选择 [Collet Setup] 标签页。设定要安装在多功能晶圆单元中的顶起销 (Collet) 数
据。
备注 )显示的顶起销 (Collet) 的号码被标注在多功能晶圆单元的顶起销支架上。
备注 )想要通过优化器自动选择时,请将 [Configuration]-[General]-[Wafer]-[Optimize
Collet] 设定为 [Yes]。
贴装工作头 能够使用的吸嘴置放台
H12HS ND32D (多功能晶圆单元用)
G04 NK12A
H01/H02 NCGWA (多功能晶圆单元用) 7 个装
项目名 值 说明
[Wafer]
Optimize Collet (Yes/No) 指定是否以优化方式自动设定顶起销
(Collet) 数据。
Optimize PP Nozzle
Changer
(Yes/No) 指定是否以优化方式自动配置 PP 吸嘴。
Optimize Shuttle Pad (Yes/No) 指定是否以优化方式自动配置往复臂衬
垫。(*)
(*) 通常生产时,不需要另外选择往复臂衬垫。使用标准配置进行生产。
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