多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第200页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 186 多功能晶圆单元使用说明书 4. 确定指定时，请按下 Complet e 按钮。晶片影像的颜色如下变化，并且 返回到图表编辑 菜单画面。 ·晶片影像的灰色变成白色。 （变成了无效。 ） ·晶片影像的淡绿色变成绿色。 （变成了有效。 ） 5. 请按下 Complete 按钮。返回到轴移动位置中的指定画面。 6. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。 01NST -1728…
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 185
3. PP 单元的相机移动到指定位置，显示实际影像。在该画面上指定晶片的有效和无效。指
定方法存在个别指定和范围指定。
a. 个别指定时
·绿色的晶片影像为有效。变成无效时，请点击对象晶片。影像变成灰色。
·白色的的晶片影像为无效。变成有效时，请点击对象晶片。影像变成淡绿色。
·确定前，再次点击晶片就会返回到原来的状态。
备注 )如果要进行范围指定，请按下范围指定 / 个别指定切换按钮。
b. 范围指定时
·请指定对象范围的对角上的 2 个晶片。
·绿色的晶片影像为有效。变成无效时，请点击对象晶片。影像变成灰色。
·白色的的晶片影像为无效。变成有效时，请点击对象晶片。影像变成淡绿色。
备注 )如果要进行个别指定，请按下范围指定 / 个别指定切换按钮。
01NST-1359S
BACK Complete
01NST-1360S
BACK Complete
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
186 多功能晶圆单元使用说明书
4. 确定指定时，请按下 Complete 按钮。晶片影像的颜色如下变化，并且返回到图表编辑
菜单画面。
·晶片影像的灰色变成白色。（变成了无效。）
·晶片影像的淡绿色变成绿色。（变成了有效。）
5. 请按下 Complete 按钮。返回到轴移动位置中的指定画面。
6. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。
01NST-1728
Complete
01NST-1729
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 187
7.6.4 模板图表的设定
1. 在确认了行列数和图表影像后，显示模板图表的设定菜单画面。请按下菜单选择设定方
法。
a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定跳过晶片区域。
b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围，指定跳过晶片。
c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片，指定跳过晶片。
备注 )按下 BACK 按钮后，返回到晶圆下侧的图表影像和实际影像的确认画面。
2. 指定了跳过晶片后，返回到上一个画面。请按下 Complete 按钮。设定完成后，返回到
晶圆示教画面。
备注 )没有按下保存按钮，而是按下 BACK 按钮后，跳过晶片的指定就会变成无效，请注意。
根据外圈指定的模板图表设定
1. 按下画面左下方的按钮后，就会显示数字键盘。在数字键盘上输入从晶圆外圈开始的列
数。
01NST-1039S
BACK
01NST-1040