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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 28 多功能晶圆单元使用说明书 3. 请利用盖罩的安装螺丝孔 ，使用附属的螺丝和垫圈安装主电源 开关 ON/OFF 单元。 4. 转动主电源开关 ON/OFF 单元的旋钮，确认 基座的主电源开关准确地动作。 ON/OFF OFF ON
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 27
4.2 安装主电源开关 ON/OFF 单元
在 2M-2 基座上安装多功能晶圆单元后，就变得不能够操作主电源开关。请安装附属的主电
源开关 ON/OFF 单元。
注意 )根据所安装的主电源开关 ON/OFF 单元，基座的 PCU 和 MCU 用定位孔被占据了。因此，
在更换料站托架或者切换模组时，需要每次拆下主电源开关 ON/OFF 单元。
1. 将基座的主电源开关设置为 OFF，接着，将电源电缆与外部电源分离。（参照 [NXT II
安装手册 ]。）
2. 请拆下基座的主电源开关下侧的盖罩。
危险
作业前，请确认外部电源被切断，电源电缆中没有电流流动。
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
28 多功能晶圆单元使用说明书
3. 请利用盖罩的安装螺丝孔，使用附属的螺丝和垫圈安装主电源开关 ON/OFF 单元。
4. 转动主电源开关 ON/OFF 单元的旋钮，确认基座的主电源开关准确地动作。
ON/OFF
OFF
ON
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 29
4.3 变更到对应多功能晶圆的模组
为了使用多功能晶圆单元，需要对应多功能晶圆单元的模组。此处，说明从标准模组变更到
多功能晶圆单元对应模组的方法。
4.3.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经全部准备好了。
工具
六角扳手一套，十字螺丝刀
单元
名称 形状
多功能晶圆单元用
废料带输送槽
多功能晶圆单元用
废料带滑槽
多功能晶圆单元用
废料带箱座