多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第25页
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图 多功能晶圆单元使用说明书 11 输出信号 9 NX00B 温度熔 断器正常 10 NX00C 热正常 11 NX010 吸取工 作头 1 有元件确认 （交付前） NX026 吸取工 作头 1 有元件确认 （交付后） 12 NX011 吸取工 作头 2 有元件确认 （交付前） NX027 吸取工 作头 2 有元件确认 （交付后） 13 NX012 吸取工 作头 3 有元件确认 （交付后）…
3. 传感器配置图
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NS-NXTMWU-4.2S
10 多功能晶圆单元使用说明书
3.2 安全门和空气压、真空压
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 DX001 料盘箱门关闭确认
2 DX002 排出门关闭确认
3 DX003 吸嘴更换器门关闭确认
4 DX008 空气压确认
5 DX009 真空压确认
6 DX00A 紧急停止 SW
7 NX002 真空泵压力正常
NX004 吸取确认参考时压力正常
8 NX00A 控制 BKT 风扇旋转正常
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INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 11
输出信号
9 NX00B 温度熔断器正常
10 NX00C 热正常
11 NX010 吸取工作头 1 有元件确认 （交付前）
NX026 吸取工作头 1 有元件确认 （交付后）
12 NX011 吸取工作头 2 有元件确认 （交付前）
NX027 吸取工作头 2 有元件确认 （交付后）
13 NX012 吸取工作头 3 有元件确认 （交付后）
NX028 吸取工作头 3 有元件确认 （交付前）
14 NX013 吸取工作头 4 有元件确认 （交付后）
NX029 吸取工作头 4 有元件确认 （交付前）
15 NX018 晶片往复臂 1 吸取确认
16 NX019 晶片往复臂 2 吸取确认
17 NX01A 晶片往复臂 3 吸取确认
18 NX01B 晶片往复臂 4 吸取确认
19 NX01C 翻转 1 吸取确认
20 NX01D 翻转 2 吸取确认
21 NX01E 翻转 3 吸取确认
22 NX01F 翻转 4 吸取确认
23 NX02F 顶起料带吸取确认 （直接搬运）
NX03F 顶起料带吸取确认 （往复臂搬运）
图中号码 地址 信号名
1 DY008 料盘箱门锁定
2 DY009 排出门锁定
3 DY00A 吸嘴更换器门锁定
11 NY028 PP 工作头 1 自动参考
12 NY029 PP 工作头 2 自动参考
13 NY02A PP 工作头 3 自动参考
14 NY02B PP 工作头 4 自动参考
24 NY02E PP 工作头真空泵开启
图中号码 地址 信号名
3. 传感器配置图
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12 多功能晶圆单元使用说明书
3.3 料盘塔
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX000 料盘箱托架夹紧开启端
2 NX001 料盘箱托架夹紧解除端
3 NX003 托架收存确认
4 NX020 供应部托架夹紧开启端
5 NX021 供应部托架夹紧解除端
6 NX022 托架下部交付打开端
7 NX023 托架下部交付关闭端
8 NX03E 托架有无确认
9 OPTOD 料盘高度测定 1 （左）
10 OPTOE 料盘高度测定 2 （右）
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