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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 185 3. PP 单元的相机移动到指定位置,显示实际影 像。在该画面上指定晶片的有效和无 效。指 定方法存在个别指定和范围指定 。 a. 个别指定时 ·绿色的晶片影像为有效。变成 无效时,请点击对象晶片。影像变 成灰色。 ·白色的的晶片影像为无效。变 成有效时,请点击对象晶片。影像 变成淡绿色。 ·确定前,再次点击晶片就会返 回到原来的状态。 备注 )如果要进行范围…

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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
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轴移动位置处的指定
从图表编辑菜单画面上选择轴移动位置处的指定菜单后,就会显示指定画面。
此处,使相机移动到图表影像中指定的位置,确认图表影像和实际影像。下一步,指定晶片
的有效、无效。
备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后,就会返回到图表编辑菜单画面。
1. 点击图表影像的显示区域后,就会显示图表影像。使用放大、滚动按钮移动图表,点击
想要确认的晶片。
备注 )由此,移动目标处的晶片位置被指定。
2. 指定了晶片位置后,NEXT 按钮就会闪烁,请按下按钮。
01NST-1357
CANCEL NEXT Complete
01NST-1358S
Next
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多功能晶圆单元使用说明书 185
3. PP 单元的相机移动到指定位置,显示实际影像。在该画面上指定晶片的有效和无效。指
定方法存在个别指定和范围指定
a. 个别指定时
·绿色的晶片影像为有效。变成无效时,请点击对象晶片。影像变成灰色。
·白色的的晶片影像为无效。变成有效时,请点击对象晶片。影像变成淡绿色。
·确定前,再次点击晶片就会返回到原来的状态。
备注 )如果要进行范围指定,请按下范围指定 / 个别指定切换按钮。
b. 范围指定时
·请指定对象范围的对角上的 2 个晶片。
·绿色的晶片影像为有效。变成无效时,请点击对象晶片。影像变成灰色。
·白色的的晶片影像为无效。变成有效时,请点击对象晶片。影像变成淡绿色。
备注 )如果要进行个别指定,请按下范围指定 / 个别指定切换按钮。
01NST-1359S
BACK Complete
01NST-1360S
BACK Complete
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4. 确定指定时,请按下 Complete 按钮。晶片影像的颜色如下变化,并且返回到图表编辑
菜单画面。
·晶片影像的灰色变成白色。(变成了无效。
·晶片影像的淡绿色变成绿色。(变成了有效。
5. 请按下 Complete 按钮。返回到轴移动位置中的指定画面。
6. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。
01NST-1728
Complete
01NST-1729