多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第163页

INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产多功能晶圆单元使用说明书 149 4. 从要补充的料槽中拔出托架。 5. 将料盘安装到料盘托架上。 6. 将料盘托架安装到料盘箱的对象料槽中。注意 )在将料盘托架安装到料盘箱内的时候，请不要有冲击并放置到最里面。备注 )想要改变补充料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键（上下）来变更料槽。 7. 如果需要进行吸取开始点指定时，请按下箭头键（向右）。备注 )关于吸取开始点指定画面上的…

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6.7.2 补充步骤

1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。

2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于向导画面中所选择的

料槽，LED 会闪烁。

3. 请拿住捏手，提起托架挡块。

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4. 从要补充的料槽中拔出托架。

5. 将料盘安装到料盘托架上。

6. 将料盘托架安装到料盘箱的对象料槽中。

注意 )在将料盘托架安装到料盘箱内的时候，请不要有冲击并放置到最里面。

备注 )想要改变补充料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键（上下）来变更料槽。

7. 如果需要进行吸取开始点指定时，请按下箭头键（向右）。

备注 )关于吸取开始点指定画面上的详细操作，请参照 "7.11.3 指定吸取开始点 "。

8. 请按下画面上的 OK 按钮。

9. 如果有其他料槽的料盘安装向导，请重复 4. 项～ 8. 项。

10.完成所有的补充后，SUPPLY COPLT 按钮就会闪烁。

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11.请拿住捏手，放下托架挡块。

12.请关闭正面门。

备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。

13.请按下 SUPPLY COPLT 按钮。

至此，完成料盘元件的补充。

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