多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第48页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 34 多功能晶圆单元使用说明书 4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 此作业请在以下的情况下进行。 另外， 在进行了高度和倾斜的调整后， 请务必进行吸取高度 修正测定。 （详细内容请参照 "4.5 吸取高度修正测定 "。 ） 备注 )在模组、地面的状态等与调整时同样的条件下使用时，不需要调整。 ·新安装多功能晶圆单元时 ·将多功能晶圆单元安装到别的 模组上时 ·因生产线的…
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 33
13.安装多功能晶圆单元用的废料带滑槽。
14.将多功能晶圆单元用的废料带箱座放入基座内，安装废料带箱。
备注 )废料带箱部安装了传感器。如果废料带箱座没有完全安装在基座内，废料带处理单元
就不会动作。
15.安装模组前侧下方的盖罩。
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
34 多功能晶圆单元使用说明书
4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜
此作业请在以下的情况下进行。另外，在进行了高度和倾斜的调整后，请务必进行吸取高度
修正测定。（详细内容请参照 "4.5 吸取高度修正测定 "。）
备注 )在模组、地面的状态等与调整时同样的条件下使用时，不需要调整。
·新安装多功能晶圆单元时
·将多功能晶圆单元安装到别的模组上时
·因生产线的移动等，地面的状态发生变化时
·多功能晶圆单元的高度发生了变化时
4.4.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经准备好了。
备注 )Z0 高度治具为选购件。是否购买，请与本公司或本公司代理店联络。
分类 名称 数量 备注
一般工具 六角扳手一套 -
扳手一套 -
十字螺丝刀 1
测隙规 （厚薄规） 1 厚度 0.5mm
特殊工具 扳手 2MDLWJ0129** 1 附属品
36mm 宽度扳手 （固定用）
前端厚度 9mm
扳手 S3019F 1 附属品
36mm 宽度扳手 （调整用）
前端厚度 14.5mm
六角扳手 （短型） 1 附属品
5mm 宽度
治具 高度调整用手柄 1 附属品
01NST-1905
01NST-1904
01NST-1906
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治具 顶起调整治具 2ADLWJ00120* 1 附属品
工作头夹紧治具 AA18T** 1 附属品
Z0 高度治具 PM2047* 1 选购件
也可以使用 PM3629* 的 Z0
高度治具。使用时，将千
分表靠住最高的部分。
测定器 水平仪 2 推荐分辨率：0.1mm/m
纵横尺寸：
100x40mm 以下
千分表 1 分辨率 2um
测定范围 0.6mm
磁性平台 1
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