多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第115页
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 101 3. 显示吸取数据编辑画面。请变更晶片吸取 所需的数据。 备注 )关于指定数值的项目， 按下项目名就会显示数值键盘。 请输入数值， 然后按下 Enter。 a. P ush Up Para Mode：Man ual 时 备注 )能够变更顶起动作的设定。 b. P ush Up Para Mode：Aut o 时 备注 )顶起动作的设定变成 [C…
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
100 多功能晶圆单元使用说明书
6. 对象模组和多功能晶圆单元的操作换面切换到各自的测试模式。
执行影像处理测试
1. 请使用箭头按钮，选择进行影像处理的安装了晶圆的料槽。
2. 按下 OK 按钮。
01NST-1391
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 101
3. 显示吸取数据编辑画面。请变更晶片吸取所需的数据。
备注 )关于指定数值的项目，按下项目名就会显示数值键盘。请输入数值，然后按下 Enter。
a. Push Up Para Mode：Manual 时
备注 )能够变更顶起动作的设定。
b. Push Up Para Mode：Auto 时
备注 )顶起动作的设定变成 [ColletSpec] 的推荐值。
项目名 值 说明
[Pressure Pin]
Push Up Para
Mode
(Auto/Manual) 指定顶起参数的设定方法
如果指定了 [Auto]，以下只显示 [Push Up
Wait Time]。
Push Up Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定顶起销上升后的停止时间
(单位ms)
Push Up Height (0.0 ～ 1.5) 设定顶起销的晶片顶起高度
Speed Change
Height
(0.0 ～ ) 设定切换顶起参数的高度
[Pick]
Pickup Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定晶片吸取时在下降端的停止时间 ( 单位
ms)
Offset X (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 X 方向修正值
(单位mm)
Offset Y (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Y 方向修正值
(单位mm)
[Speed Change Height]
[Speed Change Height]
01NST-1622
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
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4. 请按下 START 按钮。多功能晶圆单元以被变更的数据值开始吸取动作。
备注 )如果对象料槽的吸取开始点没有被指定，机器进行异常停止。
5. 显示晶片位置对准画面。请指定进行吸取测试的晶片。
a. 在影像图表中，选择进行吸取测试的晶片。
b. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )按下 CANCEL 按钮就会返回到料槽选择画面。按下 BACK 按钮，则返回到前项的画面。
Offset Z (-2.00 ～ 2.00) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Z 方向修正值
(单位mm)
(*) 设定了 Offset X、Y、Z 后，对照吸取位置的修正，顶起销的顶起位置也进行修
正。
[Collet]
设定顶起销被安装的 4 个筒夹的类型。
(*) 所选择的筒夹类型以蓝色被翻转显示。
项目名 值 说明
BACK NEXTCANCEL