多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第272页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 258 多功能晶圆单元使用说明书 10.6.2 更换晶片往复臂的吸嘴真空过滤器 1. 请打开正面门。 2. 打开右侧面的维修保养门。 3. 扳下控制杆，解除锁定。 4. 拆下吸嘴。 5. 使用尖头镊子，将吸嘴背面的真空过滤器 更换成新品。 6. 请按照与拆下时相反步骤，安装吸嘴。 01NST -1467
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 257
10.6 每月 （700 小时）的作业
10.6.1 往复臂皮带的清扫和加油
1. 请从模组上卸下多功能晶圆单元。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 "。）
清扫往复臂皮带表面
2. 用干净的布干擦往复臂皮带的表面。
向往复臂皮带背面加油
3. 请抬起往复臂皮带，用干净的布擦去往复臂皮带背面和皮带导轨的污垢。
4. 用干净的布浸取 Gluebar A20，涂敷皮带背面和皮带导轨的皮带接触面。
5. 手动移动往复臂皮带，使润滑油循环。
6. 请将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "。）。
润滑油 加油处 加油量 (cc)
Gluebar A20 （NOK） 往复臂皮带 -
01NST-0705b
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
258 多功能晶圆单元使用说明书
10.6.2 更换晶片往复臂的吸嘴真空过滤器
1. 请打开正面门。
2. 打开右侧面的维修保养门。
3. 扳下控制杆，解除锁定。
4. 拆下吸嘴。
5. 使用尖头镊子，将吸嘴背面的真空过滤器更换成新品。
6. 请按照与拆下时相反步骤，安装吸嘴。
01NST-1467
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 259
10.6.3 更换 PP 单元的真空过滤器
1. 请从模组中拆下多功能晶圆单元。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 使用尖头镊子，将 PP 的单元的凸缘上的真空过滤器更换成新品。
4. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
5. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "）
10.6.4 清扫 PP 单元的吸嘴吸取面
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 清扫 PP 单元的凸缘的吸嘴吸取面。使用清洁纸轻轻擦去附着的污垢。
3. 关闭背面盖罩左侧面的维修保养门。