多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第53页

INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装多功能晶圆单元使用说明书 39 3. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。 a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向弹簧侧同时用手转动，拆下所有的顶起筒。 b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。 c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。备注 )不方便安装治具时，…

4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S

38 多功能晶圆单元使用说明书

8. 拆下多功能晶圆单元用废料带箱座和废料带箱。

进行多功能晶圆单元的准备

1. 请拆下多功能晶圆单元的背面盖罩、正面盖罩（下方）、侧面盖罩（右侧下方、左侧下

方）。（详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。）

2. 将顶起单元移动到往复臂供应位置。

注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。在

顶起 X 轴部处在左右端的状态下，Y 方向移动顶起单元时，单元的一部分有可能碰到壁

面。

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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装

多功能晶圆单元使用说明书 39

3. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。

a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向弹簧

侧同时用手转动，拆下所有的顶起筒。

b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。

备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。

c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。

备注 )不方便安装治具时，请转动 EZ 轴滚珠丝杆，下降顶起 Z 轴部。转动 EZ 轴滚珠丝杆时，

将 2mm 宽度的六角扳手插入滚珠丝杆的前端部，请慢慢地转动，不要用力过度。

4. 解除多功能晶圆单元下部前侧的锁定杆（2 处）。左方向转动控制杆，解除锁定。

5. 松开多功能晶圆单元下部的前侧脚轮（2 处）的固定螺母。使用 36mm 宽度扳手松开固

定螺母。

备注 )转动调整螺栓时，使用前端部厚度 14.5mm 的调整用扳手（S3019F），转动锁定螺母

时，使用前端部厚度 9mm 的固定用扳手（2MDLWJ0129**）。

6. 松开多功能晶圆单元下部中央的紧固环（2 处）。松开 2 个固定螺栓。

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01NST-1967S

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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S

40 多功能晶圆单元使用说明书

7. 在多功能晶圆单元上安装高度调整手柄。

01NST-1910S

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