多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第225页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 211 7.11.3 指定吸取开始点 将料盘元件安装到多功能晶圆单元中的时候 ， 通过在操作画面上设定最初吸取的元件的位 置坐标，能够指定料盘元件的吸 取开始点。 1. 在补充向导画面被显示的状态下，请按下 箭头键 （向右） 。 2. 显示吸取点指定画面。请设定 X、Y 的吸取点。通过箭头键 改变 X、Y 的数值。 · 设定栏的 X、Y 的初始值为现状的吸 取点 3.…
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
210 多功能晶圆单元使用说明书
11.请拿住捏手，抬起托架挡块。
12.请关闭正面门，按下 SUPPLY COPLT 按钮。
备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。
13.请按下 SUPPLY COPLT 按钮。
至此，完成料盘元件的补充。
01INST-0680S
01NST-0681
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 211
7.11.3 指定吸取开始点
将料盘元件安装到多功能晶圆单元中的时候，通过在操作画面上设定最初吸取的元件的位
置坐标，能够指定料盘元件的吸取开始点。
1. 在补充向导画面被显示的状态下，请按下箭头键 （向右）。
2. 显示吸取点指定画面。请设定 X、Y 的吸取点。通过箭头键改变 X、Y 的数值。
· 设定栏的 X、Y 的初始值为现状的吸取点
3. 设定结束后，请按下 OK (NEXT) 按钮。
·如果副料槽 2 中安装着料盘时，显示副料槽 2 的吸取开始点指定画面。
·如果没有副料槽 2，或者副料槽 2 已经设定结束，则返回到料盘元件补充向导画
面。
备注 )按下 CANCEL 后，设定就会被取消。
01NST-0673S
01NST-1030S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
212 多功能晶圆单元使用说明书
7.12 安装吸嘴
如果需要安装吸嘴，在校正后显示吸嘴的安装向导。请根据向导在多功能晶圆单元中安装吸
嘴。
7.12.1 吸嘴安装向导画面
吸嘴安装向导被显示在模组侧的操作面板上。
备注 )如果生产所需的吸嘴不在吸嘴置放台内，这些吸嘴类型就会被显示在向导画面上。请
将所需的吸嘴补充到吸嘴置放台内。