多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第214页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 200 多功能晶圆单元使用说明书 7.10 安装顶起销 如果需要安装顶起销， 在校正后显示顶起销的安装向导。 请根据向导在顶起销单元的筒夹中 安装顶起销。 7.10.1 顶起销安装向导画面 7.10.2 顶起销的安装步骤 1. 请按下操作面板的 OK 按钮。 01NST -0745S
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 199
7.9 顶起销的位置调整
多功能晶圆单元在校正中读取顶起销的位置。此时，当发生读取异常时，就会显示顶起销的
位置调整画面。请按照此处的说明，进行销的位置调整。
备注 )顶起销的位置调整作业没有包含在换线指令菜单内。
7.9.1 顶起销位置调整画面
如果所安装的销不是生产中要使用的销，请不要进行位置调整，直接按下 CANCEL 按钮。完
成校正后，显示顶起销的更换向导。
7.9.2 进行顶起销的位置调整
1. 按下上下左右的滚动按钮，十字线就会移动。请一边看着实际影像，一边将十字线移动
到筒夹中央。
2. 请按下 NEXT 按钮。
3. 画面切换到其他的筒夹后，请重复 1. 和 2. 项的作业。
通过以上的操作，完成了顶起销位置调整。多功能晶圆单元重新开始校正。
01NST-1067S
CANCEL NEXT
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
200 多功能晶圆单元使用说明书
7.10 安装顶起销
如果需要安装顶起销，在校正后显示顶起销的安装向导。请根据向导在顶起销单元的筒夹中
安装顶起销。
7.10.1 顶起销安装向导画面
7.10.2 顶起销的安装步骤
1. 请按下操作面板的 OK 按钮。
01NST-0745S
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 201
2. 请打开侧面盖罩。
3. 转动控制杆解除锁定，从顶起单元中卸下相应的顶起筒。
4. 松开螺母，拆下筒。
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