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11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S 308 多功能晶圆单元使用说明书 6. 请拆下连接在另一个汽缸盖上的空气管和 螺丝 （4 个） ，拆下汽缸盖。 7. 请将汽缸盖内侧的空气过滤器和汽缸密封 垫片更换成新品。 8. 拆下螺栓 （4 个） ，然后拆下泵汽缸。
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 307
11.7.3 更换方法
真空泵中有 2 个汽缸盖。以下说明其中一个的作业。另一个请按照同样的方法进行作业。
1. 将主电源开关设置为 OFF。
2. 请等到真空泵的表面温度下降至室温。
3. 请拆下螺丝，拆下正面盖罩 （下方）。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。
4. 请戴好防尘口罩和手套。
5. 拔下连接在真空泵上的空气管。
警告
在进行真空泵拆卸作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后进行作业。刚停止运转
后，泵内部温度很高会造成烫伤。
警告
在进行以下作业时，请戴好防尘口罩和手套。细微的尘埃在空气中浮游与
空气一起进入体内。
01NST-1502a
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
308 多功能晶圆单元使用说明书
6. 请拆下连接在另一个汽缸盖上的空气管和螺丝 （4 个），拆下汽缸盖。
7. 请将汽缸盖内侧的空气过滤器和汽缸密封垫片更换成新品。
8. 拆下螺栓 （4 个），然后拆下泵汽缸。
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
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9. 更换泵汽缸上的吸气阀和排气阀。
a. 拆下汽缸盖表面上的螺丝，拆下排气阀。
b. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装新的排气阀和排气阀压板。
c. 拆下汽缸盖背面上的螺丝，拆下吸气阀。
d. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装新的吸气阀和平垫圈。
注意 )安装时，平垫圈的外圈有圆弧的一面与吸取阀靠在一起。
10.更换垫圈。
a. 请拆下螺丝 （2 个），拆下垫圈压板。