多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第202页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 188 多功能晶圆单元使用说明书 2. 输入了列数后，按下数字键盘的 Ente r 键后，所输入的数值就会被决定。 3. 请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。 注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。 备注 )按下 CANCEL 按钮后，所设定的数值不会被反映，画面返回到模板图表设定的菜单。 根据范围指定的模板图表设定 1.…
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 187
7.6.4 模板图表的设定
1. 在确认了行列数和图表影像后，显示模板图表的设定菜单画面。请按下菜单选择设定方
法。
a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定跳过晶片区域。
b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围，指定跳过晶片。
c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片，指定跳过晶片。
备注 )按下 BACK 按钮后，返回到晶圆下侧的图表影像和实际影像的确认画面。
2. 指定了跳过晶片后，返回到上一个画面。请按下 Complete 按钮。设定完成后，返回到
晶圆示教画面。
备注 )没有按下保存按钮，而是按下 BACK 按钮后，跳过晶片的指定就会变成无效，请注意。
根据外圈指定的模板图表设定
1. 按下画面左下方的按钮后，就会显示数字键盘。在数字键盘上输入从晶圆外圈开始的列
数。
01NST-1039S
BACK
01NST-1040
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
188 多功能晶圆单元使用说明书
2. 输入了列数后，按下数字键盘的 Enter 键后，所输入的数值就会被决定。
3. 请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，所设定的数值不会被反映，画面返回到模板图表设定的菜单。
根据范围指定的模板图表设定
1. 点击图表影像后，就会显示图表影像。使用图表的放大按钮、滚动按钮，移动到想要指
定的区域。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，画面就会返回到模板图表设定的菜单。
CANCEL
Complete
01NST-1020S
CANCEL
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 189
2. 请在图表影像中点击要指定的范围的对角上的晶片。
备注 )想要移动显示中的影像时，请按下上下左右的滚动按钮。切换滚动量后，移动速度就
会以 2 个等级发生变化。
备注 )再次按下基点的晶片后，指定就会被解除。
备注 )在数字键盘上也能够输入指定范围的坐标。详细内容请参照下一页。
3. 按下 Block Set 按钮，决定所指定的范围。此时，指定范围的颜色变成粉色。
备注 )如果要取消指定，请按下 Block Clear 按钮。
4. 完成所有的指定后，请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。
01NST-1021S
01NST-1022
Complete
Block Set
Block Clear