多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第79页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 65 5. 开始顶起 1 位置的吸取高度修正测定。 a. 点 击 [Measurement POS.] 的箭头按 钮，选择 [ 1]。 b. 点 击 [Measurement POS.move] 指令 ，顶起 X 轴、Z 轴部移 动到顶起位置 1。 备注 )如果此时按下了紧急停止按钮，请解除紧急停止按钮，进行以下步骤 j ～ l 的作业。 c. 按下模组的紧急停止按钮…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
64 多功能晶圆单元使用说明书
3. 启动 MWU 调整工具，切换到测定画面。
a. 打开 [MWU.exe]。显示 MENU 画面。
b. 在 [Connect IP Address] 中输入要安装多功能晶圆单元的基座的 IP 地址。确认
[M1(P)] 中选择了复选框。
c. 点击 [Connection check] 指令，确认显示了 [OK]。
d. 在 I/O 监视器中确认模组的 [SAFETY RELAY OK] 变成了 ON，点击 [Wake] 指令。
e. 点击 [Pickup offset measurement] 指令。显示吸取高度修正测定画面。
4. 固定顶起 X 轴部和顶起 Z 轴部，将顶起单元移动到直接供应位置。
a. 选择 [EX]、[EZ] 的复位侧的复选框。EX 轴、EZ 轴被固定。
b. 点击 [Robot Cylinder forward] 指令。顶起单元移动到直接供应位置。
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01NST-2006E
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 65
5. 开始顶起 1 位置的吸取高度修正测定。
a. 点击 [Measurement POS.] 的箭头按钮，选择 [1]。
b. 点击 [Measurement POS.move] 指令，顶起 X 轴、Z 轴部移动到顶起位置 1。
备注 )如果此时按下了紧急停止按钮，请解除紧急停止按钮，进行以下步骤 j ～ l 的作业。
c. 按下模组的紧急停止按钮，打开侧面盖罩。
d. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住顶起调整治具的上面。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
e. 确认 EZ 轴的 [Cur.val(mm)] 是否变成了 [29.0]。
备注 )如果 EZ 轴 [Cur.val(mm)] 不是 [29.0]，请重新从 [Measurement pos.move] 指令开始
进行。
f. 读取千分表的数值。
备注 )顶起调整治具高度大于 Z0 （刻度 0）时为正值，小于 Z0 时为负值。
g. 将千分表的读取值输入到 [Pusher1] 的 [Value(mm)] 中，点击 [Setting] 指令。数
值被反映到 [Now value(mm)] 中。
h. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表移动到退避位置。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
i. 关闭侧面盖罩，解除紧急停止按钮。
j. 在 [Equipment Check] 的 I/O 监视器中将安全继电器设置为 ON。（参照步骤 2.）
k. 点击 [Error reset] 指令。
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