多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第145页

INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产 多功能晶圆单元使用说明书 131 6.1.5 确认在晶片往复臂上安装了吸嘴 请确认在晶片往复臂上安装了全 部的 4 个吸嘴。 6.1.6 确认在翻转单元上安装了吸嘴 请确认在翻转单元上安装了全部 的 4 个吸嘴。 注意 在没有安装吸嘴的状态下开始运转 ，气源回路内就会混入异物，成为 多功 能晶圆单元发生故障的原因。 1676 ਌ఈ 注意 在没有安装吸嘴的状态下开始运转 ，气源回路…

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6. 生产
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6.1.3 安装顶起销
请对照 Job，在筒夹上安装顶起销。根据操作画面上所显示的顶起销安装向导进行作业。详
细内容请参照 "7.10 安装顶起销 "。
备注 )顶起销的安装向导被显示在模组侧的操作画面上。
6.1.4 确认顶起筒的安装
请确认在顶起单元上安装了筒。同时确认在没有安装筒的料槽上安装了盖罩。
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注意
请在安装了筒后，开始生产。如果筒被拆除，则成为多功能晶圆单元的误
动作和故障的原因。另外，在没有筒的料槽上请安装盖罩。
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INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 131
6.1.5 确认在晶片往复臂上安装了吸嘴
请确认在晶片往复臂上安装了全部的 4 个吸嘴。
6.1.6 确认在翻转单元上安装了吸嘴
请确认在翻转单元上安装了全部的 4 个吸嘴。
注意
在没有安装吸嘴的状态下开始运转，气源回路内就会混入异物，成为多功
能晶圆单元发生故障的原因。
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注意
在没有安装吸嘴的状态下开始运转，气源回路内就会混入异物，成为多功
能晶圆单元发生故障的原因。
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6.2 开始生产
请进行以下的操作。
1. 当多功能晶圆单元处于 START 等待状态的时候，请按下 START 按钮。
2. 开始校正。校正结束后，开始向模组供应元件。
备注 )
1.如果还没有完成生产的准备，校正后显示换线向导。有关换线，请参照 "6. 换线 "。
2.校正中如果发生了顶起销读取异常时，就会显示顶起销的位置调整画面。请参照 "7.9
顶起销的位置调整 "，进行顶起销的位置调整。