多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第218页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 204 多功能晶圆单元使用说明书 g. 反向转动调整螺丝，定位块离开顶起销。 h. 用力转动螺母，固定顶起销。 7. 将筒夹安装到筒的底座上。使定位销对准 底座的缺口然后插入筒夹，用螺母 进行固定。 01NST -1484S 䇗ᭈ㶎ϱ ᅮԡഫ 乊䍋䫔 ᅝ㺙ৄ 01NST -0759S ㋻ⶽ 1.28 Nm 㧔 খ㗗 㧕
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 203
c. 筒夹中如果有不要的销时，请除去。松开筒夹的螺母，销的固定孔就会松动。
备注 )此处请使用专用的扳手。另外，请保管好所拆下的销，不要遗失。
d. 将顶起销插入相应的位置。
e. 请调整销的长度。
备注 )请转动调整螺丝，直到定位块碰到安装台为止。
f. 在该状态下，请重新轻轻地旋紧松动的螺母，预固定顶起销。
注意 )用力旋紧螺母，有可能损伤销的前端。
01NST-0756S
㶎↡
01NST-0757
01NST-0758S
䇗ᭈ㶎ϱ
ᅮԡഫ
ᅝ㺙ৄ
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
204 多功能晶圆单元使用说明书
g. 反向转动调整螺丝，定位块离开顶起销。
h. 用力转动螺母，固定顶起销。
7. 将筒夹安装到筒的底座上。使定位销对准底座的缺口然后插入筒夹，用螺母进行固定。
01NST-1484S
䇗ᭈ㶎ϱ
ᅮԡഫ
乊䍋䫔
ᅝ㺙ৄ
01NST-0759S
㋻ⶽ
1.28 Nm㧔খ㗗㧕
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 205
8. 安装筒。使定位销对准槽口然后插入筒，用螺母进行固定。
9. 安装顶起筒。转动控制杆进行固定。
备注 )
1.请通过控制杆确认顶起筒是否被牢牢地固定了。
2.在没有筒的料槽上请安装盖罩。与筒一样，转动控制杆进行固定。
注意
请正确地安装，避免筒翘起，旋紧螺母。筒翘起，则成为吸取不良或故障
的原因。
ᅮԡ䫔
㶎↡
ῑ䚼
ㄦ
1676
01NST-1062Sa
乊䍋ㄦ
ࠊᴚ
1676
盖罩