多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第246页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 232 多功能晶圆单元使用说明书 b. 往复臂供应模式时 9. 按下 NEXT 按钮就会返回到 4. 项的吸取数据编辑画面。请对照吸取 的状态编辑数据。 至此，完成操作。 另外，启动 MEdit 也能够 进行吸取测试。 详细内容请参照 "5.6 通过 MEdi t 的 Job 编辑 " 。
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 231
6. 显示晶片位置调整画面。请指定进行吸取测试的晶片。
a. 在影像图表中，选择进行吸取测试的晶片。
b. 请按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，返回到料槽选择画面。按下 BACK 按钮后，返回到前项的画面。
7. 请按下 NEXT 按钮。多功能晶圆单元按照编辑后的数据进行吸取测试。
备注 )根据运转模式，吸取动作有所不同。
8. 显示吸取测试的结果。请确认吸取状态。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
直接供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 NXT 侧相机对吸取晶片的轨迹进行影像处理。其结
果显示在 NXT 操作画面上。
往复臂供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 PP 单元的相机对吸取晶片的轨迹进行影像处理。其
结果显示在 MWU 操作画面上。
BACK NEXTCANCEL
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
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8.5.4 顶起销位置调整
执行该指令后，元件相机就会拍摄顶起销的位置，并显示在操作面板上。由此，能够确认现
状的顶起销位置，算出修正量。
1. 请按下顶起销位置调整指令。
2. 显示筒夹选择画面。请通过箭头按钮选择进行位置调整的筒夹。
3. 请按下 START 按钮。
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