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11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S 300 多功能晶圆单元使用说明书 11.3.6 登录固有值 在更换了 CPU 箱后，进行固有值的重新登录 。 1. 将固有值的备份数据复制到安装了附加软 件的电脑上。 2. 将基座的主电源开关设置为 ON，将模组和多 功能晶圆单元变成开始按钮等待的状 态。 3. 启动辅助软件。 4. 选择对象模组，点击菜单的 [Calibration]。 5. 从 固有值管理菜单中点 击 [Prope…
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 299
5. 拆下固定着 CPU 电路板的螺丝 （4 个）。
6. 拉出 CPU 电路板。
7. 更换电池。提起电池的前方从电池架上拆下电池。安装时，从后方开始安装，压入安
装。
8. 将 CPU 电路板插入 CPU 箱内。
9. 按照与拆下时相反的步骤，将 CPU 箱和盖罩安装到多功能晶圆单元上。
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11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
300 多功能晶圆单元使用说明书
11.3.6 登录固有值
在更换了 CPU 箱后，进行固有值的重新登录。
1. 将固有值的备份数据复制到安装了附加软件的电脑上。
2. 将基座的主电源开关设置为 ON，将模组和多功能晶圆单元变成开始按钮等待的状态。
3. 启动辅助软件。
4. 选择对象模组，点击菜单的 [Calibration]。
5. 从固有值管理菜单中点击 [Proper data value file registration]。
6. 点击 [Browse] ，选择复制在电脑中的固有值的备份数据。
7. 点击 [OK]。显示 [File name]、[Serial No.]、[MWU type]，确认没有出错。
8. 点击 [Proper data value file registration]。将固有值数据发送到基座。
9. 重新启动多功能晶圆单元。固有值被反映。
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