多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第205页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 191 根据个别指定的模板图表设定 1. 点击图表影像后,就会显示图表影像。使 用图表的放大按钮、滚动按钮,移 动到想要指 定的晶片。 备注 )按下 CANCEL 按钮后,画面返回到晶圆示教画面。 2. 按下图表影像上的晶片后,就会作为跳过 晶片被指定。被指定的晶片变成粉 色。 备注 )每按一下影像上的晶片,就会在指定和解除之间切换。 备注 )想要移动显示中的影像时,…

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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
190 多功能晶圆单元使用说明书
在数字键盘上进行指定时
1. 的X或Y按
备注 )如果被按下的按钮是 X 按钮,则 X 的输入为有效。
2. 请将模板图表的坐标输入到数字键盘中。按下 Enter 按钮后,所输入的数值就会被决
定。
3. 请指定 Range 1 Range2 双方的 XY 坐标。所指定的范围以橙色显示。
4. 按下 Block Set 按钮,决定所指定的范围。此时,指定范围的颜色变成粉色。
5. 完成所有的指定后,请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后,如果不按下菜单画面的 Complete 按钮,所设定的数值不会被反映。
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多功能晶圆单元使用说明书 191
根据个别指定的模板图表设定
1. 点击图表影像后,就会显示图表影像。使用图表的放大按钮、滚动按钮,移动到想要指
定的晶片。
备注 )按下 CANCEL 按钮后,画面返回到晶圆示教画面。
2. 按下图表影像上的晶片后,就会作为跳过晶片被指定。被指定的晶片变成粉色。
备注 )每按一下影像上的晶片,就会在指定和解除之间切换。
备注 )想要移动显示中的影像时,请按下上下左右的滚动按钮。切换滚动量后,移动速度
会以 2 个等级发生变化。
3. 完成所有的指定后,请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后,如果不按下菜单画面的 Complete 按钮,所设定的数值不会被反映。
CANCEL
Complete
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192 多功能晶圆单元使用说明书
对模板图表设定进行初始化
1. 请从模板图表设定的菜单画面中选择初始化指令。
2. 按下 OK 按钮后,模板图表设定就会被初始化,并且画面返回到模板图表设定的菜单。
备注 )按下 CANCEL 按钮,则不会被初始化,并且画面返回到模板图表设定的菜单。
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01NST-1048
CANCEL
OK