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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 289 3. 使用气枪或工业用酒精，清扫吸嘴的吸取 垫上面。 备注 )使用超声波洗净器清扫吸嘴时， 请参照 "10.11.2 清扫晶片往复臂的吸嘴 " 的〈关于超 声波清洗器的使用〉 。 4. 将吸嘴安装翻转单元上。将吸嘴插入翻转 单元，按住吸嘴顺时针转动。 5. 将多功能晶圆单元返回到原来的状态。
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
290 多功能晶圆单元使用说明书
10.11.4 向升降部齿轮加油
存在升降部的上升或下降动作过重时，请进行加油作业。
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的侧面盖罩 （右侧下方和左侧下方）、正面盖罩。（详细内容参照
"12.1 拆下盖罩 "。）
3. 用干净的布擦去升降部齿轮的污垢。
4. 将 0.92cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
5. 使用刷子，在升降部齿轮处涂敷润滑油。
6. 解除多功能晶圆单元下部前侧的锁定杆 （2 处）。左方向转动控制杆，解除锁定。
7. 松开多功能晶圆单元下部中央的紧固环 （2 处）。松开 2 个固定螺栓。
8. 安装手柄。
9. 转动手柄数次，使润滑油循环。
10.用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
11.将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和
倾斜 "。）
润滑油 加油处 加油量 (cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) 升降部齿轮 0.92
01NST-0710b