多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第257页
INS-NXTMWU-4.2S 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 多功能晶圆单元使用说明书 243 9.2 安装方法 将多功能晶圆单元安装重 新安装到模组上时，请按照此处记载的方 法进行作业。 备注 )将多功能晶圆单元安装到其他的模组上时， 需要进行调整。 详细内容请参照 "4.4 调整 多功能晶圆单元的高度和倾斜 "。 9.2.1 安装前的确认 将多功能晶圆单元安装到模组中 时， 请预先确认以下的事项。 如果不进行…
9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 INS-NXTMWU-4.2S
242 多功能晶圆单元使用说明书
9.1 卸下方法
1. 按下 STOP 按钮或 CYCLE STOP 按钮 , 停止模组的运转，变成 START 等待状态。
2. 按下 CYCLE STOP 按钮停止了运转后，请确认 PP 单元、晶片往复臂和翻转单元的吸嘴上
没有吸取着元件。如果吸取了元件，请除去元件。
3. 请按下操作面板的 MANUAL 按钮，显示手动操作指令。
4. 使用箭头键选择单元更换示意图，当按下 OK 按钮后，就会显示更换选项画面。
5. 选择料站托架更换示意图，按下 OK 按钮，松开多功能晶圆单元。
6. 从模组中慢慢地拉出多功能晶圆单元。
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INS-NXTMWU-4.2S 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装
多功能晶圆单元使用说明书 243
9.2 安装方法
将多功能晶圆单元安装重新安装到模组上时，请按照此处记载的方法进行作业。
备注 )将多功能晶圆单元安装到其他的模组上时，需要进行调整。详细内容请参照 "4.4 调整
多功能晶圆单元的高度和倾斜 "。
9.2.1 安装前的确认
将多功能晶圆单元安装到模组中时，请预先确认以下的事项。如果不进行确认，将多功能晶
圆单元安装到模组中，单元之间有可能冲突。
a. PP 单元必须在中央或左端。
b. PP 吸嘴更换器必须在退避位置。
c. PP 吸嘴更换器的挡板开闭用汽缸必须在挡板关闭侧。
d. 晶片往复臂必须在维修保养位置。
e. 翻转单元的翻转部必须在交付位置。
f. 顶起单元的 EX 轴必须在中央附近。
g. 顶起单元的 EZ 轴必须在下降端。
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c
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