多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第175页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 161 7.3.4 如何显示跳过晶片指定的菜单画面 如果知道了生产中使用的晶圆的 一部分上不存在晶片，能够预先指 定跳过该位置。 1. 在元件补充画面上显示跳过晶片指定的作 业向导的时候，请按下箭头按钮 （向右） 。 2. 显示跳过晶片指定的菜单画面。请按下菜 单选择，选择设定方法。 a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定 跳过晶片的区域。 b. 范围指定：从影像…

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3. 请按下 SELECT 按钮。所选择的图表文件被显示在 [Select Wafer Map File Nmae] 栏内。
4. 请按下 OK 按钮。确定晶圆图表。
至此，完成晶圆图表的指定。之后，多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。
01NST-0666
01NST-1366E
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7.3.4 如何显示跳过晶片指定的菜单画面
如果知道了生产中使用的晶圆的一部分上不存在晶片，能够预先指定跳过该位置。
1. 在元件补充画面上显示跳过晶片指定的作业向导的时候，请按下箭头按钮 （向右）。
2. 显示跳过晶片指定的菜单画面。请按下菜单选择，选择设定方法。
a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定跳过晶片的区域。
b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围，指定跳过晶片。
c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片，指定跳过晶片。
跳过晶片指定的详细内容，请参照 "7.5 指定跳过晶片 "。
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7.3.5 晶圆托架的运用
供应晶圆时，使用专用的托架。晶圆托架的运用方法根据托架的种类和安装方法的不同，按
照以下进行分类。
·夹环对应托架
·手动拉伸托架
安装到晶圆托架上的方法，请参考此处列举的插图。
夹紧环对应托架
手动拉伸托架
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